富士科技 FUJI Technology 产品特点：
富士科技依托富士精机集团近 50 年真空领域技术积累，主营各类真空阀门与真空零部件，产品覆盖蝶阀、闸阀、ELV、DX 系列真空阀等品类。产品依托 ISO Class7 洁净车间生产制造，严控生产工艺，适配高洁净工况；品类体系完善，支持常规供货与维修翻新、样品出借配套服务，可满足设备定制、维护全周期需求。
应用行业：
产品广泛应用于半导体制造、光学精密设备、真空镀膜等领域，同时服务化学工业、汽车制造、科研实验装置市场。合作群体包含知名设备厂商、材料企业以及日本多所高校与科研机构，适配薄膜沉积、精密检测、真空热处理等工艺场景，能够满足工业量产设备与实验室真空装置对密封性、洁净度的使用需求，为**真空系统提供可靠流体控制解决方案。
完整型号 法兰标准 口径 驱动形式 阀体材质 密封材质 工作压力区间 控制能力 电源可选 适用场景 MEX-80JIS-LD-AZ JIS 80mm 伺服电机驱动 SUS304 Viton O 圈 10⁵～10⁻⁶Pa 无级连续开度、多点定位 DC24V/DC48V/AC 小型腔体、支路管路微量节流 MEX-100JIS-LD-AZ JIS 100mm 伺服电机驱动 SUS304 Viton O 圈 10⁵～10⁻⁶Pa 无级连续开度、多点定位 DC24V/DC48V/AC 通用精密镀膜、半导体真空调压（主推） MEX-150JIS-LD-AZ JIS 150mm 伺服电机驱动 SUS304 Viton O 圈 10⁵～10⁻⁶Pa 无级连续开度、多点定位 DC24V/DC48V/AC 中型腔体主抽管路、多级开度调控 MEX-200JIS-LD-AZ JIS 200mm 伺服电机驱动 SUS304 Viton O 圈 10⁵～10⁻⁶Pa 无级连续开度、多点定位 DC24V/DC48V/AC 大型连续真空产线、大流量闭环调压
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