富士科技 FUJI Technology 产品特点：
富士科技依托富士精机集团近 50 年真空领域技术积累，主营各类真空阀门与真空零部件，产品覆盖蝶阀、闸阀、ELV、DX 系列真空阀等品类。产品依托 ISO Class7 洁净车间生产制造，严控生产工艺，适配高洁净工况；品类体系完善，支持常规供货与维修翻新、样品出借配套服务，可满足设备定制、维护全周期需求。
应用行业：
产品广泛应用于半导体制造、光学精密设备、真空镀膜等领域，同时服务化学工业、汽车制造、科研实验装置市场。合作群体包含知名设备厂商、材料企业以及日本多所高校与科研机构，适配薄膜沉积、精密检测、真空热处理等工艺场景，能够满足工业量产设备与实验室真空装置对密封性、洁净度的使用需求，为**真空系统提供可靠流体控制解决方案。
项目 EX-80JIS-XON EX-100JIS-XON EX-150JIS-XON EX-200JIS-XON 产品名称 三位置气动紧凑型真空闸阀 三位置气动紧凑型真空闸阀 三位置气动紧凑型真空闸阀 三位置气动紧凑型真空闸阀 法兰标准 JIS JIS JIS JIS 公称口径 80mm 100mm 150mm 200mm 壳体漏率 ≤1×10⁻¹¹ Pa·m³/s ≤1×10⁻¹¹ Pa·m³/s ≤1×10⁻¹¹ Pa·m³/s ≤1×10⁻¹¹ Pa·m³/s 闸板漏率 ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s 工作压力区间 10⁵ ~ 10⁻⁶ Pa 10⁵ ~ 10⁻⁶ Pa 10⁵ ~ 10⁻⁶ Pa 10⁵ ~ 10⁻⁶ Pa 驱动方式 气动（三位置双气缸） 气动（三位置双气缸） 气动（三位置双气缸） 气动（三位置双气缸） 工作气压 0.4~0.6MPaG 0.4~0.6MPaG 0.4~0.6MPaG 0.4~0.6MPaG 密封材质 Viton O 型圈 Viton O 型圈 Viton O 型圈 Viton O 型圈 阀体材质 SUS304 SUS304 SUS304 SUS304 阀位反馈 内置微动开关（全关 / 半开 / 全开信号） 内置微动开关（全关 / 半开 / 全开信号） 内置微动开关（全关 / 半开 / 全开信号） 内置微动开关（全关 / 半开 / 全开信号） 生产环境 洁净室组装检测 洁净室组装检测 洁净室组装检测 洁净室组装检测
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