KOHZU神津精机
产品广泛应用于精密制造与科研领域，主要涵盖半导体晶圆光刻、封装对位、真空镀膜与精密检测；光通信光纤耦合、激光微加工、光学镜头组装、显示面板贴合；同时适配车载传感标定、精密电子元器件装配，以及医疗显微设备、新材料检测、同步辐射科研实验，是高精度微定位、自动对准领域的主流日系精密品牌。
轴位 标准行程 *大运行速度 半步细分分辨率 X ±3mm 10mm/s 1μm Y ±3mm 10mm/s 1μm Z ±2.5mm 1.25mm/s 0.125μm OX（倾斜 X） ±5° 11.3°/s 0.000378° OY（倾斜 Y） ±4.5° 8.5°/s 0.000282° OZ（旋转 θ） ±3° 12.7°/s 0.00127°
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