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粗糙度轮廓复合测量机

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 粗糙度轮廓复合测量机
产品型号: NEX 031 DX2
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ACCRETECH东京精密
产品文档: 无相关文档

粗糙度轮廓复合测量机  的详细介绍

ACCRETECH 东京精密产品特点：

一、整体共性

双业务布局：精密测量仪器 + 半导体工艺设备，自研整机、光栅、软件，配套耗材兼容性稳定

宽温适配，防尘密封，车间长期量产精度衰减小，多工况 / 洁净产线可定制

模块化测头选配，支持触发、扫描、光学测量，自动化配件齐全

机型梯度完整，空间紧凑低能耗，覆盖小件量产到实验室基准级检测

适配半导体、3C、模具、汽车、医疗、航空多行业，配套本地化维保

二、三坐标细分精简特点

mju NEX：小型紧凑型，节能省占地，适合微型小件批量检测

AXCEL PH：经济型触发机型，两种导轨防护可选，主打点位尺寸检测

AXCEL RDS：全能扫描机型，支持曲面 / 非接触测量，复杂工件高精度检测

ZEISS XENOS：代理超高精度机型，大行程，计量实验室基准校准专用

核心应用行业：

半导体晶圆、芯片封测

3C、精密模具、光学元件检测

汽车、航空航天精密零部件质控

医疗器械、轴承计量、自动化在线检测


大类 项目 参数详情
基础标识 产品全称 SURFCOM NEX 031 DX2（落地款）/SD2（台式款）
机身区分 DX2 落地式花岗岩大台面，适配中型工件
SD2 台式紧凑型机身，占用空间小，适配实验室 / 小型产线
X 轴驱动部 感应元件 线性光栅尺
轮廓模式直线度精度 0.8μm/100mm、2.0μm/200mm
粗糙度模式直线度精度 0.05+1.0L/1000 μm（L = 测量长度）
X 轴示值误差（100mm 行程） ±(0.8+1.0L/100) μm
X 轴示值误差（200mm 行程） ±(0.8+3.0L/200) μm
X 轴分辨率 0.016 μm
快速移动速度 0.03~100 mm/s
测量移动速度 0.03~30 mm/s
倾斜选配角度 ±15°（斜切配件另购）
立柱升降 CNC 自动升降速度 Max 50 mm/s
J/S 手动升降速度 Max 35 mm/s
底座材质 花岗岩
轮廓通用传感器 Z 轴纵向行程 60 mm
感应方式 高精度光栅尺
轮廓全量程分辨率 0.04 μm
Z 轴示值误差 ±(1.2+12H/100)μm（H = 测量高度，20℃标准温区）
标配轮廓测针 DM45505，测力 2~30mN，超硬合金，25μmR/24° 圆锥
粗糙度专用传感器 Z 轴纵向量程 1000 μm
感应方式 差动电感式
粗糙度测量分辨率 0.1~20 nm
Z 轴示值范围 6.4~1000 nm
标配粗糙度测针 DM43801，测力 0.75mN，金刚石，2μmR/60° 圆锥
通用功能 **防护 上下限位**机构、测针回缩防撞功能
适用场景 适配行业 小型精密模具、3C 电子零件、五金冲压件、密封件、医疗器械基础粗糙度与轮廓检测
核心优势 产品特点 双机身灵活选型，分体式传感器设计，操作门槛低，维护成本低，适合量产车间常规质检




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