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粗糙度轮廓综合测量机

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产品名称: 粗糙度轮廓综合测量机
产品型号: NEX 200 SD2
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ACCRETECH东京精密
产品文档: 无相关文档

粗糙度轮廓综合测量机  的详细介绍

ACCRETECH 东京精密产品特点：

一、整体共性

双业务布局：精密测量仪器 + 半导体工艺设备，自研整机、光栅、软件，配套耗材兼容性稳定

宽温适配，防尘密封，车间长期量产精度衰减小，多工况 / 洁净产线可定制

模块化测头选配，支持触发、扫描、光学测量，自动化配件齐全

机型梯度完整，空间紧凑低能耗，覆盖小件量产到实验室基准级检测

适配半导体、3C、模具、汽车、医疗、航空多行业，配套本地化维保

二、三坐标细分精简特点

mju NEX：小型紧凑型，节能省占地，适合微型小件批量检测

AXCEL PH：经济型触发机型，两种导轨防护可选，主打点位尺寸检测

AXCEL RDS：全能扫描机型，支持曲面 / 非接触测量，复杂工件高精度检测

ZEISS XENOS：代理超高精度机型，大行程，计量实验室基准校准专用

核心应用行业：

半导体晶圆、芯片封测

3C、精密模具、光学元件检测

汽车、航空航天精密零部件质控

医疗器械、轴承计量、自动化在线检测


大类 项目 参数详情
基础机型 产品名称 SURFCOM NEX 200 DX2（落地式）/SD2（台式）
机身区分 DX2 落地大台面，适合大件工件
SD2 台式紧凑型，节省车间空间
X 轴驱动部 测量行程型号 12/13/14/15/22/23/24/25 多行程可选
直线度精度（LH150 测针） 0.45+3.0L/1000 μm
直线度精度（LH200 测针） 0.8+4.0L/1000 μm
X 轴示值误差 ±(0.8+3.0L/100)μm(L≤100mm)、±(0.8+4.0L/200)μm(L≤200mm)
X 轴分辨率 0.016 μm
移动速度（测量） 0.03~30 mm/s
移动速度（快速） Max 50 mm/s
倾斜角度 ±15°（选配斜切配件）
立柱升降 驱动方式 CNC 自动升降
升降材质 铝合金立柱
双模复合传感器 Z 轴测量范围 LH150 测针：39mm；LH200 测针：52mm
感应方式 高精度光栅尺
粗糙度测量分辨率 LH150：2.7nm；LH200：3.6nm
Z 轴纵向示值误差 ±(2.0+10H/100)μm
粗糙度测针 LH150 型号 DM84407
测量力 4 mN
测针材质 金刚石
针尖半径 2 μmR/60° 圆锥
轮廓测针 LH150 型号 DM84399
测量力 4.5 mN
针尖材质 超硬合金
针尖规格 25 μmR/24° 圆锥
粗糙度测针 LH200 型号 DM84376
测量力 7 mN
针尖材质 超硬合金
针尖规格 25 μmR/12° 倾斜
通用功能 **防护 向下测量 / 上限限位**机构、测针回缩功能
适用场景 适用行业 精密模具、3C 电子、汽车零部件、五金冲压件、医疗器械粗糙度与轮廓批量检测
核心优势 核心特点 双模传感器无需换头，DX/SD 双机身可选，加长测针适配深腔工件，性价比高




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