ULVAC 真空搬送机器人 ELEC-RZ
特点 根据行经,转弯半径,手臂数量,有多种可选。 支持10-6Pa的高真空。 用途 半导体设备的自动晶片搬送 各种真空实验设备的基板搬送 规格
*1 因安装臂和机械手而异。
手臂选择列表
*1 *大距离为机器人使用我方手掌时的参考值,为 Φ300mm(选项)。 *2 手(拾取装置)不包括在机器人内。如有需要,请与我们联系。
上海岩濑国际贸易有限公司 Tel:021-63333-365 Fax:021-63333-367 Add:上海市松江区沪亭北路199弄九亭中心5号楼811室 Email:sh@iwase365.com