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真空搬送机器人

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产品名称: 真空搬送机器人
产品型号: COVOT-LC
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

真空搬送机器人  的详细介绍

ULVAC 真空搬送机器人 COVOT-LC

特点
根据行经，转弯半径，手臂数量，有多种可选。
支持10-6Pa的高真空。
用途
半导体设备的自动晶片搬送
各种真空实验设备的基板搬送
规格

COVOT-LC ELEC-RZ COVOT-6-X5
使用压力范围 to 10-5Pa to 10-6Pa to 10-1Pa
晶片尺寸 200mm/300mm 200mm/300mm 300mm
晶片把持片数 1 or 2 1 or 2 4
*大到达距离*1 880mm 1050mm 880mm
旋转角度 -15° to 375° ±210° 360° Endless
升降行程 - 50mm 90mm
*小旋转直径 *1 802mm 944mm 980mm
可搬重量（含机械手) 1kg 1kg 1kg
动作速度 R Max 2.5sec / 全行程 Max 2.5sec / 全行程 Max 1.5sec / full stroke
Θ Max 2.5sec / 180° Max 3.0sec / 180° Max 2.0sec / 180°
Z - Max 1.5sec / 20mm Max 1.5sec / 20mm
重复位置精度 R ±0.2mm ±0.1mm ±0.2mm
Θ ±0.2mm ±0.2mm ±0.2mm
Z - ±0.2mm ±0.2mm
示教器 选购配件 附属 附属
控制器 内置 外置 外置

*1 因安装臂和机械手而异。

手臂选择列表

标准臂 标准臂 用臂 COVOT-LC 用臂
COVOT-6
手臂型号 252 271 325 419 424 FRV CV6
*大距离
(mm) *1 		700 760 880 1040 1050 740 880
*小旋转直径
(mm) *1 		606 644 802 940 964 600 980
晶片数量 1or 2 1 4
外形图纸
*2 		arm.png arm2.png arm_LC.png 用臂
COVOT-6
ELEC-RZ ○ ○ ○ ○ ○ × ×
COVOT-
LC 		○ ○ ○ × × ○ ×
COVOT-6 × × × × × × ○

*1 *大距离为机器人使用我方手掌时的参考值，为 Φ300mm（选项）。
*2 手（拾取装置）不包括在机器人内。如有需要，请与我们联系。



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