ULVAC RF电源 RMG-1303
特点 可通过低输出功率进行控制 可通过1W的低输出功率进行控制 标准配备脉冲RF输出功能 标准搭载500Hz～100KHz的脉冲RF输出功能，可在低功率下进行控制 标配外部同步端子 标准搭载端子（BNC端子），用于叠加操作的13.56MHz同步信号的输入和输出 AC100V至AC220V 的广泛输入 单相 100V 至 220V / 50Hz 至 60Hz 的广泛输入 体积小、重量轻 200mm×200mm×350mm / 10Kg的小型轻量电源 支持各种规格 RoHS,CE,KC,SEMI-F47兼容 用途 溅射设备 CVD设备 等离子清洗设备 等离子刻蚀设备 等离子去胶设备 RF离子源 射频中和器 规格 电源功能部 额定输入电压 AC100V～220V(单相 50～60Hz) 额定输入容量 700VA 泄漏电流 5mA 以下 输入接口 IEC60320-C14 振荡频率 13.56MHz±0.01% *1 额定行波功率 300W (50Ω负载时) 额定反射波功率 80W 功率稳定性 ±1%以内或±2W以内的较大值(50Ω负载) 冷却方式 风扇强制空冷 *1 可输出500Hz～100KHz的脉冲RF 匹配器功能部分 额定功率 300W 额定电流 10Arms 额定电压 2500Vpp/±2500Vdc(标准) *2 输出电极 2-M4(标准)･N･HN･DIN7/16 *3 匹配精度 VSWR1.2或者3W以下 *2 可选择变更额定电压 *3 可选择更改为连接器输出类型 尺寸图
*1 可输出500Hz～100KHz的脉冲RF
*2 可选择变更额定电压 *3 可选择更改为连接器输出类型
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