ULVAC DC电源 DC-10-D
特点 丰富的高性能选项 轻巧且节省空间的设计 800V和1000V的电压输出范围 适应于等离子体的输出控制 强制空气冷却系统，无需冷却水 配备出色的ARC功能和高速ARC断路器 可*多12台设备并联运行（240kW） 符合RoHS、CE、SEMI-F47标准 用途 FPD溅射设备 半导体溅射设备 电子元器件溅射设备 工业涂层溅射设备 规格
工作环境温度 5°C 至 40°C（无冷凝）。 操作环境 避免阳光直射、高温、灰尘和振动 无腐蚀性气体。 *1：可选精度保证范围为额定值的 1-10%。 *2：可提供输出电压和输出电流的下限。 可选配 1%范围内的精度保证。 *3：800 V 和 1000 V 规格不能合并。
*4：EtherCAT 规格为可选项。 详情请联系我们。
可选功能
有四种升级包（或单元）可满足客户需求，具有其他直流电源不具备的独特高性能功能。 这些新功能可帮助客户解决以前无法解决的工艺问题，提高薄膜性能。
1. 高性能 RAMP
放电前控制输出（点火操作）的功能，从而抑制放电开始时输出的突然变化，并使放电后立即获得稳定状态。传统上，直流电源中的 RAMP 功能一般是在放电后控制输出。 因此，我们将重点放在放电前的输出控制上。通常，输出控制是在放电后进行的，因此可能无法获得稳定的放电状态。 有了这项新功能，在放电前控制输出（点火操作），就可以抑制放电开始时的瞬时高功率，稳定放电。
出力再現性（σ：0.74W）
ARC遮断時間の自動判断
寸法図
上海岩濑国际贸易有限公司 Tel：021-63333-365 Fax：021-63333-367 Add：上海市松江区沪亭北路199弄九亭中心5号楼811室 Email：sh@iwase365.com