异常放电防止单元

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产品名称: 异常放电防止单元

产品型号: A2KH-20K

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: ULVAC

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异常放电防止单元 的详细介绍

ULVAC 异常放电防止单元 A2KH-20K

特点
高产量
通过减少异常放电可以输入更高功率
基板损伤减少
能够减少电弧引起的基板损
控制基板的问题
与RF溅射相比，可以降低基板温度
简单的连接性
可以连接到现有设备
可变的反向脉冲频率
A2KH-25：1kHz ～ 20kHz、A2K-20K/40K：1kHz ～ 50kHz范围内可使用
脉冲同步系统
可以输出多个A2K单元的同步脉冲 *2 *3
主从连接可实现大容量
A2K-20K、40K*多可以6台并联运行
应用：脉冲同步系统
a2kdata.jpg
当同一个腔室内阴极互相靠近相对，或者，当多个A2K放电彼此干扰时。通过使用相位控制功能，可以使A2K的反向脉冲同相并防止放电干扰。*3 *4
*1：可以与弊社DC电源连接
*2：使用A2KH-25，A2K-20K，40K不能执行脉冲同步和并行操作。
*3：A2KH-25需要外部同步单元（PHSM / PHSS）
*4：A2K-20K / 40K需要光同步电缆（Pulse link cable）
用途
FPD用反应溅射设备
工业涂层用反应溅射设备
彩色TFT用反应溅射设备
规格

型号		A2KH-25	A2K-20K	A2K-40K
控制电源输入	输入	AC90 to 110V	AC100 to 240V
	频率	单相　50/60Hz
	功率	100VA	400VA
	泄露电流	1mA or less
输入规格	工作电压	-100 to -800V
	工作电流	0 to 25A	0 to 50A	0 to 100A
	输入结构	连接器连接	连接器连接
输出规格	脉冲范围	5μs/10μs （内部开关切换）	1 至 18μs （有频率限制）
	振荡频率	脉冲范围 5μs 2、5、10、15、20 千赫兹脉冲范围 10μs 1、2.5、5、7.5、10 千赫兹	1 至 50 千赫以 1KHz 为增量可变
	反相脉冲电压	直流电源发生器输出电压的 10 至 20%。(取决于负载阻抗）
耐压	连续运行	-1500Vdc
并联运行		无	多可控制 6 台 5
冷却方式		强制风冷
尺寸（宽×深×高）		238×450×149mm	483×630×177mm
重量		16kg	30kg	45kg
适用标准		RoHs

工作环境温度 5℃ 至 40℃（无冷凝现象）
操作环境：避免阳光直射、高温、灰尘、振动，无腐蚀性气体。
*5： A2K-20K 和 A2K-40K 不能一起使用。

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