真空角阀双动式VLP系列

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产品名称: 真空角阀双动式VLP系列
产品型号: VLHーMB100CH
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

真空角阀双动式VLP系列  的详细介绍

ULVAC VLHーMB100CH 真空角阀双动式VLP系列

特点
SUS角阀可以烘烤至150℃。
连接法兰有4种类型可选择:JIS-VF,ISO-KF,ISO-K和ISO-CF。
提供单动式和复动式2种。 单动式仅需要一个气动管线。
不锈钢材料。 (但是,VLP-U由铁制成,VAP,VAH和VFR由铝制成。)

规格

型式 VLH-MB
弁板許容*大差圧(正圧/逆圧) MPa 0.10
弁開時許容*大差圧(正圧/逆圧) MPa 0.10
阀板密封方式 0 环
轴密封方式 波纹管
驱动系统 手动
泄漏量(外部)*1 Pa・m3/s ≦1.0E-10
泄漏量(内部)*1 Pa・m3/s ≦1.0E-10
使用圧力範囲(絶対圧) Pa 大気圧~1.0E-8
允许烘烤温度(静止时)*2 ℃ 本体:150*3,駆動部:70
動作環境温度 ℃ 5~70
使用流体温度 ℃ 5~70
加热和冷却速度 ℃/h ≦30
使用環境雰囲気 非腐食性雰囲気
使用流体 非腐食性流体
气缸供气压力  MPaG -
保証動作回数*4 100,000
運転姿勢 自由
开/关传感器 -
真空側主要部品材質 SUS304
大気側主要部品材質 SUS304,AL-6061(アルマイト)
波纹管材料 不锈钢316L
密封部件材料(真空侧)  FKM
油脂類(真空側)  不使用任何润滑脂
吊具取付部 *5
RoHS 対応

*1 泄露率不包括 O 型圈的渗透。在 O 形圈轴密封贯穿件的情况下,不调节开闭时的外部泄漏。
*2 请勿在烘烤过程中打开和关闭。
*3 关于 VLP-MB 和 VLH-MB,打开位置时的*高阀体烘烤温度为 200℃ (392F),关闭位置时的*高阀体烘烤温度为 150℃ (302F): 150℃ (302F).
*4 详见使用手册。
*5 VLP-SA350JH 附带升降附件(M12 眼螺栓 x 2 个)

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