真空角阀双动式VLP系列

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产品名称: 真空角阀双动式VLP系列

产品型号: VLPｰSB250KC

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: ULVAC

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真空角阀双动式VLP系列 的详细介绍

ULVAC VLPｰSB250KC 真空角阀双动式VLP系列

特点
SUS角阀可以烘烤至150℃。
连接法兰有4种类型可选择：JIS-VF，ISO-KF，ISO-K和ISO-CF。
提供单动式和复动式2种。单动式仅需要一个气动管线。
不锈钢材料。（但是，VLP-U由铁制成，VAP，VAH和VFR由铝制成。）

规格

型式	VLP-SB
弁板許容*大差圧（正圧/逆圧） MPa	0.10
弁開時許容*大差圧（正圧/逆圧） MPa	0.10
阀板密封方式	0 环
轴密封方式	波纹管
驱动系统	双作用气缸
泄漏量（外部）*¹ Pa・m³/s	≦1.0E-10
泄漏量（内部）*¹ Pa・m³/s	≦1.0E-10
使用圧力範囲（絶対圧） Pa	大気圧～1.0E-6
允许烘烤温度（静止时）*² ℃	本体：150*³，駆動部：70（センサー：60）
動作環境温度　℃	5～70
使用流体温度　℃	5～70
加热和冷却速度 ℃/h	≦30
使用環境雰囲気	非腐食性雰囲気
使用流体	非腐食性流体
气缸供气压力 MPaG	0.40～0.60
保証動作回数*⁴	100,000
運転姿勢	自由
开/关传感器	选件（单独购买）
真空側主要部品材質	SUS304
大気側主要部品材質	SUS304，AL-6061（アルマイト）
波纹管材料	不锈钢 316L
密封部件材料（真空侧）	FKM
油脂類(真空側)	不使用任何润滑脂
吊具取付部	無*⁵
RoHS	対応

*1 泄露率不包括 O 型圈的渗透。在 O 形圈轴密封贯穿件的情况下，不调节开闭时的外部泄漏。
*2 请勿在烘烤过程中打开和关闭。
*3 关于 VLP-MB 和 VLH-MB，打开位置时的*高阀体烘烤温度为 200℃ (392F)，关闭位置时的*高阀体烘烤温度为 150℃ (302F)： 150℃ (302F).
*4 详见使用手册。
*5 VLP-SA350JH 附带升降附件（M12 眼螺栓 x 2 个）

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