真空角阀双动式VLP系列

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产品名称: 真空角阀双动式VLP系列
产品型号: VLPーSA080JH
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
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真空角阀双动式VLP系列  的详细介绍

ULVAC VLPーSA080JH 真空角阀双动式VLP系列

特点
SUS角阀可以烘烤至150℃。
连接法兰有4种类型可选择:JIS-VF,ISO-KF,ISO-K和ISO-CF。
提供单动式和复动式2种。 单动式仅需要一个气动管线。
不锈钢材料。 (但是,VLP-U由铁制成,VAP,VAH和VFR由铝制成。)

规格

型式 VLP-SA
弁板許容*大差圧(正圧/逆圧) MPa 0.10
弁開時許容*大差圧(正圧/逆圧) MPa 0.10
阀板密封方式 0 环
轴密封方式 0 环
驱动系统 双作用气缸
泄漏量(外部)*1 Pa・m3/s ≦1.0E-10
泄漏量(内部)*1 Pa・m3/s ≦1.0E-10
使用圧力範囲(絶対圧) Pa 大気圧~1.0E-5
允许烘烤温度(静止时)*2 ℃ 本体:150*3,駆動部:70(センサー:60)
動作環境温度 ℃ 5~70(センサー:5~60)
使用流体温度 ℃ 5~70
加热和冷却速度 ℃/h ≦30
使用環境雰囲気 非腐食性雰囲気
使用流体 非腐食性流体
气缸供气压力  MPaG 0.40~0.60
保証動作回数*4 100,000
運転姿勢 自由
开/关传感器 选件(单独购买)
真空側主要部品材質 SUS304
大気側主要部品材質 SUS304,AL-6061(アルマイト)
波纹管材料
密封部件材料(真空侧) FKM
油脂類(真空側)  氟润滑脂
吊具取付部 *5
RoHS 対応

*1 泄漏不包括 0 形环的渗透。 对于 0 形圈轴封,开/关操作时的外部泄漏量不在规定范围内。
*2 请勿在烘烤期间进行开/关操作。
*3 VLP-MB、VLH-MB 本体(打开时):200°C,本体(关闭时):150°C。
*4 有关详情,请参阅使用说明书。
*5 对于 VLP-SA350JH,主体上附有悬挂装置(吊环螺栓 M12 x 2)。

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