ULVAC VLPーSA065JH 真空角阀双动式VLP系列
特点 SUS角阀可以烘烤至150℃。 连接法兰有4种类型可选择:JIS-VF,ISO-KF,ISO-K和ISO-CF。 提供单动式和复动式2种。 单动式仅需要一个气动管线。 不锈钢材料。 (但是,VLP-U由铁制成,VAP,VAH和VFR由铝制成。) 规格 型式 VLP-SA 弁板許容*大差圧(正圧/逆圧) MPa 0.10 弁開時許容*大差圧(正圧/逆圧) MPa 0.10 阀板密封方式 0 环 轴密封方式 0 环 驱动系统 双作用气缸 泄漏量(外部)*1 Pa・m3/s ≦1.0E-10 泄漏量(内部)*1 Pa・m3/s ≦1.0E-10 使用圧力範囲(絶対圧) Pa 大気圧~1.0E-5 允许烘烤温度(静止时)*2 ℃ 本体:150*3,駆動部:70(センサー:60) 動作環境温度 ℃ 5~70(センサー:5~60) 使用流体温度 ℃ 5~70 加热和冷却速度 ℃/h ≦30 使用環境雰囲気 非腐食性雰囲気 使用流体 非腐食性流体 气缸供气压力 MPaG 0.40~0.60 保証動作回数*4 100,000 運転姿勢 自由 开/关传感器 选件(单独购买) 真空側主要部品材質 SUS304 大気側主要部品材質 SUS304,AL-6061(アルマイト) 波纹管材料 ー 密封部件材料(真空侧) FKM 油脂類(真空側) 氟润滑脂 吊具取付部 無*5 RoHS 対応 *1 泄漏不包括 0 形环的渗透。 对于 0 形圈轴封,开/关操作时的外部泄漏量不在规定范围内。 *2 请勿在烘烤期间进行开/关操作。 *3 VLP-MB、VLH-MB 本体(打开时):200°C,本体(关闭时):150°C。 *4 有关详情,请参阅使用说明书。 *5 对于 VLP-SA350JH,主体上附有悬挂装置(吊环螺栓 M12 x 2)。
规格
*1 泄漏不包括 0 形环的渗透。 对于 0 形圈轴封,开/关操作时的外部泄漏量不在规定范围内。 *2 请勿在烘烤期间进行开/关操作。 *3 VLP-MB、VLH-MB 本体(打开时):200°C,本体(关闭时):150°C。 *4 有关详情,请参阅使用说明书。 *5 对于 VLP-SA350JH,主体上附有悬挂装置(吊环螺栓 M12 x 2)。
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