ULVAC 多传感器 CRTS-M6
特点 可搭载6枚5MHz或6MHz的水晶振动子 使用了真空电机的独特驱动方式实现了高可靠性 水晶震动子的更换非常方便 当检测到水晶振动子振荡异常时，可以自动进行水晶振动子切换（当CRTM系列用作控制器时） 由于传感器头很小（直径50mm），可以灵活地连接到成膜系统。 用途 光学、光通信部品的蒸发 有机物的蒸发 电子部品,其他蒸发 规格 传感器头 配备晶体数量 6 pieces 晶体容量 4MHz, 5MHz or 6MHz(Selectable) AT cut crystal 耐热温度 350℃ 冷却水量 1L / min 重量 1kg 尺寸 Φ50mm x H 約89mm 控制器 数字输入 INIT, CNT, STOP 数字输出 Sensor No., BUSY, ERROR, RETRY, END 电源 DC24V, 3.0A 尺寸 W×D×H 100mm x 252mm x 99mm
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