在半导体制造的湿法制程中，药液浓度的精准管控是保障产品良率、优化生产效率的关键环节。KURABO 仓纺 Simple Wagon（型号 RD-0□）作为一款可移动的一体化在线浓度分析装置，凭借模块化集成设计、灵活部署能力与稳定的检测性能，为半导体洁净室环境提供了高效便捷的药液浓度监测解决方案。
一、品牌底蕴：三十余年技术积淀，铸就精密检测标杆
KURABO 仓纺创立于 1888 年，总部位于日本大阪，是全球知名的多元化精密制造企业。自 1990 年进军红外液体浓度检测领域以来，品牌便聚焦半导体等精密制造场景，依托三十余年的光学技术积淀与严苛的品控体系，推出了多系列成熟设备，全球累计销量超 3000 台，获得了行业头部企业的广泛认可。公司通过 ISO9001 与 ISO14001 认证，ChemicAlyzer 系列融合了自研近红外分光技术、智能算法与耐腐蚀设计，代表了其在该领域的先进水平。本次推出的 Simple Wagon 装置，以可移动集成化设计，为洁净室环境提供了灵活高效的制程管控工具。
二、产品核心参数：模块化集成设计，适配洁净室部署
Simple Wagon（型号：RD-0□[- 特記事項]，□为对应药液种类标识）是一款可移动立式一体化在线近红外液体浓度分析装置，专为半导体制造工厂洁净室或同等场所设计，采用成熟的近红外透射分光原理，搭载 PC、分光部与采样部一体化配置，可根据需求灵活部署于不同工序，实现多场景药液浓度监测。核心规格如下：
装置尺寸：W600 × D500 × H1390mm（不含配管突出部与顶部 PC 设备）
装置重量：约 120kg
电源规格：AC100V 500W
设置环境：场所为半导体制造工厂洁净室或同等场所，周围温度 20~30℃（无冷凝）
安装方式：带脚轮立式落地安装，支持工位间灵活移动
装置构成：PC・分光部・采样部一体化集成，模块化分层设计
测量原理：近红外透射法，搭载专用光学滤镜，支持多波长同步检测
接液材质：耐腐蚀材质，适配半导体制程多种药液
三、核心技术优势：三大亮点，兼顾灵活、集成与稳定
可移动集成设计，灵活适配多工位需求
Simple Wagon 采用带脚轮的立式柜体结构，结合模块化分层设计，可在洁净室内灵活移动部署，无需固定工位安装，即可为不同工序提供药液浓度检测能力，大幅提升设备利用率，降低多工序重复配置成本。
全集成化配置，开箱即可接入产线
装置集成了 PC、分光部与采样部，无需额外配置外部设备，搭配顶部笔记本电脑即可快速调试使用，大幅减少现场集成与调试时间，快速响应制程管控需求。分层式透明柜体设计，便于日常维护与状态观察，提升设备运维效率。
高规格硬件配置，保障长期安稳运行
设备采用 500W 标准供电设计，搭载仓纺成熟的近红外分光技术，不受浊度、气泡、温度波动干扰，在 20~30℃无冷凝的洁净室环境中可实现 24 小时连续稳定运行。接液部件采用耐腐蚀材质，适配多种半导体制程药液，满足关键工序的连续监测需求。
四、应用场景：覆盖半导体多工序药液浓度管控
Simple Wagon 装置广泛应用于半导体制造工厂的洁净室环境，包括晶圆清洗、蚀刻、药液配比等多工序场景，同时适配精密电子、平板显示等领域的药液浓度管控需求。在多品种、小批量产线中，可灵活切换不同药液的浓度检测任务；在工艺验证与制程优化环节，可快速部署并提供精准的浓度数据支撑，助力企业实现制程管控的精细化与高效化。
五、总结
KURABO 仓纺 Simple Wagon 药液浓度分析装置，以可移动集成化设计、灵活部署能力与高可靠性，为半导体洁净室环境提供了高效便捷的药液浓度监测解决方案。作为日系匠心打造的成熟产品，其模块化结构、稳定的检测性能与多场景适配能力，可有效助力企业优化制程管控、提升生产效率，是半导体湿法制程中多工位浓度检测的理想选择。
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