在半导体制造的精密湿法制程中,药液浓度的高精度、高稳定性监测,是保障芯片良率、实现成本管控的核心环节。KURABO 仓纺 ChemicAlyzer Ⅱ 在线近红外浓度计,凭借专为洁净室环境优化的一体化设计、强大的检测性能与高可靠性,为半导体等高规格制造领域提供了专业级的药液浓度监测方案。
一、品牌底蕴:三十余年技术积淀,铸就精密检测标杆
KURABO 仓纺创立于 1888 年,总部位于日本大阪,是全球知名的多元化精密制造企业。自 1990 年进军红外液体浓度检测领域以来,品牌便聚焦半导体等精密制造场景,依托三十余年的光学技术积淀与严苛的品控体系,推出了多系列成熟设备,全球累计销量超 3000 台,获得了行业头部企业的广泛认可。公司通过 ISO9001 与 ISO14001 认证,ChemicAlyzer 系列融合了自研近红外分光技术、智能算法与耐腐蚀设计,代表了其在该领域的先进水平。本次推出的 ChemicAlyzer Ⅱ,专为半导体洁净室等高阶场景打造,以全集成化的配置满足严苛的制程管控需求。
二、产品核心参数:一体化集成设计,适配洁净室部署
ChemicAlyzer Ⅱ(型号:KCI-02 [- 特記事項])是一款大型一体化在线近红外液体浓度计,专为半导体制造工厂洁净室或同等场所设计,采用成熟的近红外透射分光原理,搭载 PC、分光部与采样部一体化配置,为关键制程提供稳定可靠的浓度监测能力。核心规格如下:
装置尺寸:W500 × D500 × H1086mm(不含配管突出部与天面设备)
装置重量:约 80kg
电源规格:AC100V 500W
设置环境:场所为半导体制造工厂洁净室或同等场所,周围温度 20~30℃(无冷凝)
安装方式:立式落地安装,适配洁净室标准布局
装置构成:PC・分光部・采样部一体化集成
测量原理:近红外透射法,搭载专用光学滤镜,支持多波长同步检测
接液材质:耐腐蚀材质,适配半导体制程多种药液
三、核心技术优势:三大亮点,兼顾集成、性能与稳定
全集成化配置,一站式满足检测需求
ChemicAlyzer Ⅱ 采用 PC、分光部与采样部一体化设计,无需额外配置外部设备,开箱即可接入产线部署,大幅降低现场集成与调试成本。立式柜体结构专为洁净室优化,防尘防污染,适配半导体工厂的严苛环境要求。
高规格硬件配置,保障长期安稳运行
设备采用 500W 标准供电设计,搭载仓纺成熟的近红外分光技术,不受浊度、气泡、温度波动干扰,在 20~30℃无冷凝的洁净室环境中可实现 24 小时连续稳定运行,接液部件采用耐腐蚀材质,适配多种半导体制程药液,满足高精密制程的连续监测需求。
洁净室专用设计,适配高规格制造场景
专为半导体制造工厂洁净室打造的设备,从结构设计到材质选用均满足洁净环境标准,可直接部署在晶圆制造、清洗、蚀刻等关键工序中,为芯片生产的每一步提供精准、稳定的药液浓度数据支撑,助力企业实现制程管控的精细化与高效化。
四、应用场景:覆盖半导体高规格湿法制程全环节
ChemicAlyzer Ⅱ 广泛应用于半导体制造工厂的洁净室环境,包括晶圆清洗、蚀刻、光刻配套药液监测等关键工序,同时适配精密电子、平板显示等领域的高要求药液浓度管控。在半导体产线中,可精准控制各类清洗液、蚀刻液、显影液的浓度,保障产品良率;在药液再生与配比环节,实现高精度的浓度监测与闭环控制,助力企业降低生产损耗、提升生产效率。
五、总结
KURABO 仓纺 ChemicAlyzer Ⅱ 在线浓度计,以一体化集成设计、高规格硬件配置与洁净室专用优化,为半导体等高规格制造领域提供了专业级的药液浓度监测解决方案。作为日系匠心打造的成熟产品,其强大的检测性能与长期安稳的运行表现,可有效助力企业优化制程管控、提升产品良率、降低生产成本,是半导体湿法制程在线浓度监测的理想选择。
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