干式真空泵吸排气过滤器

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产品名称: 干式真空泵吸排气过滤器
产品型号: SGT-200-E
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC爱发科
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干式真空泵吸排气过滤器  的详细介绍

ULVAC 爱发科 产品特点:

ULVAC 爱发科是源自日本的真空技术品牌,产品覆盖高低真空泵、真空计、检漏仪、真空阀门、成膜控制器、等离子电源、真空搬运机器人、低温设备与气体分析仪等全品类真空元器件。产品具备宽广真空区间适配能力,干式泵可实现无油洁净真空输出,高真空设备抽速稳定,测量类仪器检测精度高,设备结构紧凑,连续运行表现稳定,维护成本较低,模块化设计便于组合搭建真空系统,可匹配严苛工艺工况。


应用行业:

产品主要应用于半导体、平板显示、光学镀膜等电子制造领域,同时覆盖新能源、精密加工、制药、科研实验室等行业,适配刻蚀、CVD、PVD、真空蒸镀、检漏、材料分析等工艺。品牌拥有多年真空技术积累,可提供成套真空工艺方案,配套完善的技术服务,是精密真空场景常用设备品牌。



项目 SGT-100 SGT-200
产品名称 吸排气过滤器 吸排气过滤器
过滤方式 外进内出旁路式 外进内出旁路式
适用机种 500L/min 以下真空泵 500L/min 以下真空泵
使用压力范围 0.1MPa 0.1MPa
环境温度 7~40℃ 7~40℃
环境湿度 85%(不可结露) 85%(不可结露)
吸气接口口径 KF-25 KF-40
排气接口口径 KF-25 KF-40
高度 H 154mm 234mm
滤芯配置 单支滤芯 2 支同规格滤芯,捕捉容量翻倍
安装配件 需另行采购 KF 卡箍、减速器、中心环等 需另行采购 KF 卡箍、减速器、中心环等

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