双绕两段涡旋干式真空泵

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产品名称: 双绕两段涡旋干式真空泵
产品型号: DIS-501
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC爱发科
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双绕两段涡旋干式真空泵  的详细介绍

ULVAC 爱发科 产品特点:

ULVAC 爱发科是源自日本的真空技术品牌,产品覆盖高低真空泵、真空计、检漏仪、真空阀门、成膜控制器、等离子电源、真空搬运机器人、低温设备与气体分析仪等全品类真空元器件。产品具备宽广真空区间适配能力,干式泵可实现无油洁净真空输出,高真空设备抽速稳定,测量类仪器检测精度高,设备结构紧凑,连续运行表现稳定,维护成本较低,模块化设计便于组合搭建真空系统,可匹配严苛工艺工况。


应用行业:

产品主要应用于半导体、平板显示、光学镀膜等电子制造领域,同时覆盖新能源、精密加工、制药、科研实验室等行业,适配刻蚀、CVD、PVD、真空蒸镀、检漏、材料分析等工艺。品牌拥有多年真空技术积累,可提供成套真空工艺方案,配套完善的技术服务,是精密真空场景常用设备品牌。



项目 DIS-90 DIS-251 DIS-501 DIS-1001
泵结构 两段双绕涡旋 两段双绕涡旋 两段双绕涡旋 两段双绕涡旋
设计抽气速度 50Hz (L/min) 90 250 500 1000
设计抽气速度 60Hz (L/min) 108 300 600 1200
到达压力 5Pa 5Pa 5Pa 5Pa
电机规格 单相 100/115/200/230V,150W 单相 / 三相可选,400W 单相 / 三相可选,750W 三相,1500W
吸入口径 KF-25 KF-25 KF-40 KF-40
排气口径 KF-16 KF-25 KF-25 KF-40
使用环境温度 5~40℃ 5~40℃ 5~40℃ 5~40℃
水蒸气处理量 (g/day) ≤5 ≤12 ≤20 ≤35
噪音 dB ≤52 (AF 开) ≤54 (AF 开) ≤56 (AF 开) ≤59 (AF 开)
重量 (kg) 14 25 44 78
外形尺寸 (mm) 214(W)×308(L)×225(H) 242(W)×366(L)×256(H) 280(W)×426(L)×302(H) 335(W)×510(L)×350(H)
认证 cTUV、CE 自我 cTUV、CE 自我 cTUV、CE 自我 cTUV、CE 自我
标配配件 端子台、开关,不含电源线 端子台、开关,不含电源线 端子台、开关,不含电源线 端子台、开关,不含电源线

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