LR 系列多级罗茨干式真空泵

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产品名称: LR 系列多级罗茨干式真空泵
产品型号: LR60
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC爱发科
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LR 系列多级罗茨干式真空泵  的详细介绍

ULVAC 爱发科 产品特点:

ULVAC 爱发科是源自日本的真空技术品牌,产品覆盖高低真空泵、真空计、检漏仪、真空阀门、成膜控制器、等离子电源、真空搬运机器人、低温设备与气体分析仪等全品类真空元器件。产品具备宽广真空区间适配能力,干式泵可实现无油洁净真空输出,高真空设备抽速稳定,测量类仪器检测精度高,设备结构紧凑,连续运行表现稳定,维护成本较低,模块化设计便于组合搭建真空系统,可匹配严苛工艺工况。


应用行业:

产品主要应用于半导体、平板显示、光学镀膜等电子制造领域,同时覆盖新能源、精密加工、制药、科研实验室等行业,适配刻蚀、CVD、PVD、真空蒸镀、检漏、材料分析等工艺。品牌拥有多年真空技术积累,可提供成套真空工艺方案,配套完善的技术服务,是精密真空场景常用设备品牌。



项目 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T
*大抽速 50Hz 62m³/h(1030L/min) 112m³/h(1860L/min) 183m³/h(3100L/min) 440m³/h(7333L/min) 440m³/h(7333L/min)
*大抽速 60Hz 80m³/h(1333L/min) 126m³/h(2100L/min) 237m³/h(3950L/min) 440m³/h(7333L/min) 440m³/h(7333L/min)
到达压力 5.0Pa 5.0Pa 5.0Pa 5.0Pa 5.0Pa
吸入口 VG50(KF50) VG80(KF50) VG80(KF50) VG100 VG100
排气口 KF40 KF40 KF40 VG50 VG50
重量 180kg 245kg 335kg 415kg 415kg
电源 三相 200V (50/60Hz),220V (60Hz) 三相 200V (50/60Hz),220V (60Hz) 三相 200V (50/60Hz),220V (60Hz) 三相 180~240/380~440V (50/60Hz) 三相 180~240/380~440V (50/60Hz)
冷却水压力 0.1~0.3MPa 0.1~0.3MPa 0.1~0.3MPa 0.2~0.5MPa 0.2~0.5MPa
冷却水流量 >5.0L/min >5.0L/min >5.0L/min >4.0L/min >4.0L/min

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