干式真空泵配套节能附件

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产品名称: 干式真空泵配套节能附件
产品型号: ECO-SHOCK
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC爱发科
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干式真空泵配套节能附件  的详细介绍

ULVAC 爱发科 产品特点:

ULVAC 爱发科是源自日本的真空技术品牌,产品覆盖高低真空泵、真空计、检漏仪、真空阀门、成膜控制器、等离子电源、真空搬运机器人、低温设备与气体分析仪等全品类真空元器件。产品具备宽广真空区间适配能力,干式泵可实现无油洁净真空输出,高真空设备抽速稳定,测量类仪器检测精度高,设备结构紧凑,连续运行表现稳定,维护成本较低,模块化设计便于组合搭建真空系统,可匹配严苛工艺工况。


应用行业:

产品主要应用于半导体、平板显示、光学镀膜等电子制造领域,同时覆盖新能源、精密加工、制药、科研实验室等行业,适配刻蚀、CVD、PVD、真空蒸镀、检漏、材料分析等工艺。品牌拥有多年真空技术积累,可提供成套真空工艺方案,配套完善的技术服务,是精密真空场景常用设备品牌。



项目 ES10 ES4A
电源 单相 AC100V-220V 50/60Hz 单相 AC200V~220V±5% 50/60Hz
耗电量 65W 400W
本体外形尺寸 175mm×330mm×240mm 250mm×475mm×373mm
阀单元外形尺寸 Φ66mm×110mm(NW40) NW40/NW50(选配件)
本体重量 9.2kg,阀单元 0.8kg 32kg
连接端口 G1/4"(INLET,OUTLET) Φ16mm 软管接头
适配泵型 LR60、LR90、LR180 LR1800、LR3601-R
控制输入 远程启停,DC24V 有源接点,容量≥2.0A 远程启停,DC24V 有源接点
控制输出 过流警报,DC24V 1.0A 启动确认、节能确认、本体警报、过流警报
显示 运行时长 运行时长、启动确认、节能确认、本体警报、过流警报

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