CR系列空冷式多级罗茨干式真空泵

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产品名称: CR系列空冷式多级罗茨干式真空泵
产品型号: CR60B-T
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC爱发科
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CR系列空冷式多级罗茨干式真空泵  的详细介绍

ULVAC 爱发科 产品特点:

ULVAC 爱发科是源自日本的真空技术品牌,产品覆盖高低真空泵、真空计、检漏仪、真空阀门、成膜控制器、等离子电源、真空搬运机器人、低温设备与气体分析仪等全品类真空元器件。产品具备宽广真空区间适配能力,干式泵可实现无油洁净真空输出,高真空设备抽速稳定,测量类仪器检测精度高,设备结构紧凑,连续运行表现稳定,维护成本较低,模块化设计便于组合搭建真空系统,可匹配严苛工艺工况。


应用行业:

产品主要应用于半导体、平板显示、光学镀膜等电子制造领域,同时覆盖新能源、精密加工、制药、科研实验室等行业,适配刻蚀、CVD、PVD、真空蒸镀、检漏、材料分析等工艺。品牌拥有多年真空技术积累,可提供成套真空工艺方案,配套完善的技术服务,是精密真空场景常用设备品牌。



项目 CR16B CR30B CR60B-S CR60B-T CR300B
*大排气速度 (m³/h) 16 30 55 55 300
到达压力 (Pa) ≤3.0 ≤3.0 ≤3.0 ≤3.0 ≤0.5
吸入口 KF25 KF25 KF40 KF40 KF50
排出口 KF25 KF25 KF40 KF40 KF50
电机额定 (kW) 0.72 0.72 1.5 1.5 3.0
质量 (kg) 35 35 48 48 100
冷却方式 空冷 空冷 空冷 空冷 空冷
*大水蒸气处理量 (g/h) <300 <300 <500 <500 <500

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