HR 系列多级罗茨干式真空泵

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产品名称: HR 系列多级罗茨干式真空泵
产品型号: HR600
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC爱发科
产品文档: 无相关文档

HR 系列多级罗茨干式真空泵  的详细介绍

ULVAC 爱发科 产品特点:

ULVAC 爱发科是源自日本的真空技术品牌,产品覆盖高低真空泵、真空计、检漏仪、真空阀门、成膜控制器、等离子电源、真空搬运机器人、低温设备与气体分析仪等全品类真空元器件。产品具备宽广真空区间适配能力,干式泵可实现无油洁净真空输出,高真空设备抽速稳定,测量类仪器检测精度高,设备结构紧凑,连续运行表现稳定,维护成本较低,模块化设计便于组合搭建真空系统,可匹配严苛工艺工况。


应用行业:

产品主要应用于半导体、平板显示、光学镀膜等电子制造领域,同时覆盖新能源、精密加工、制药、科研实验室等行业,适配刻蚀、CVD、PVD、真空蒸镀、检漏、材料分析等工艺。品牌拥有多年真空技术积累,可提供成套真空工艺方案,配套完善的技术服务,是精密真空场景常用设备品牌。



项目 HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200
*大排气速度 50Hz (m³/h) 62 112 359 653 1012
*大排气速度 60Hz (m³/h) 80 126 365 701 1051
到达压力 (Pa) 5 5 0.67 0.67 0.67
吸入口 (CE 规格) VG50(KF50) VG80(KF50) VG80(KF80) VG80(KF80) VG100(KF100)
排出口 KF40 KF40 KF40 KF40 KF40
质量 (kg) 180 245 275 370 420
电源 三相 200 (50/60Hz),220 (60Hz) 三相 200 (50/60Hz),220 (60Hz) 三相 200 (50/60Hz),220 (60Hz) 三相 200 (50/60Hz),220 (60Hz) 三相 200 (50/60Hz),220 (60Hz)
冷却水流量 (L/min) >5.0 >5.0 >5.0 >5.0 >5.0
N₂吹扫 轴 (SLM) 5 5 5 5 5
N₂吹扫 气旁 (SLM) 0~45 0~45 0~45 0~45 0~45

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