MS 系列螺杆干式真空泵

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产品名称: MS 系列螺杆干式真空泵
产品型号: MS120A
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC爱发科
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MS 系列螺杆干式真空泵  的详细介绍

ULVAC 爱发科 产品特点:

ULVAC 爱发科是源自日本的真空技术品牌,产品覆盖高低真空泵、真空计、检漏仪、真空阀门、成膜控制器、等离子电源、真空搬运机器人、低温设备与气体分析仪等全品类真空元器件。产品具备宽广真空区间适配能力,干式泵可实现无油洁净真空输出,高真空设备抽速稳定,测量类仪器检测精度高,设备结构紧凑,连续运行表现稳定,维护成本较低,模块化设计便于组合搭建真空系统,可匹配严苛工艺工况。

应用行业:

产品主要应用于半导体、平板显示、光学镀膜等电子制造领域,同时覆盖新能源、精密加工、制药、科研实验室等行业,适配刻蚀、CVD、PVD、真空蒸镀、检漏、材料分析等工艺。品牌拥有多年真空技术积累,可提供成套真空工艺方案,配套完善的技术服务,是精密真空场景常用设备品牌。




项目 MS120A MS600A MS1200A
*大抽气速度 115m³/h 560m³/h 980m³/h
到达压力 ≤0.6Pa ≤0.1Pa ≤0.1Pa
电源电压 3 相 50/60Hz AC200-240V±10% / AC380-480V±10% 3 相 50/60Hz AC200-240V±10% / AC380-480V±10% 3 相 50/60Hz AC200-240V±10% / AC380-480V±10%
消耗电力 2.4kW 3.1kW 3.1kW
冷却水量 >4.0L/min >4.0L/min >4.0L/min
吹扫气体流量 0-50SLM 0-50SLM 0-50SLM
*大水蒸气处理量 1.5kg/h 1.5kg/h 1.5kg/h
噪音值 61dB(A) 62dB(A) 64dB(A)
吸入口 KF50 (水平)/VG50 (垂直) ISO-F-80 ISO-F-100
排出口 KF40 KF40 KF40
质量 139kg 241kg 264kg
适合规格 CE、cTUVus CE、cTUVus CE、cTUVus

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