LDS3000 AQ 累积式检漏仪

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: LDS3000 AQ 累积式检漏仪
产品型号: LDS3000 AQ 560-600
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: INFICON 英福康
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LDS3000 AQ 累积式检漏仪  的详细介绍

INFICON 英福康 产品特点:

INFICON 英福康专注真空测量、气体分析与泄漏检测类精密仪器研发制造,主营检漏仪、真空计、薄膜蒸镀控制器、气体分析仪、RF 传感组件等产品。产品具备高检测精度、优异信号稳定性,可在严苛工况下完成痕量气体、真空度与薄膜厚度实时监测,搭配数字化通讯接口,便于接入产线实现工艺闭环控制;配套智能制造软件,支持制程异常预判,适配自动化连续生产场景。


应用行业:

产品广泛应用于半导体 IDM、晶圆设备制造、动力电池、显示面板、真空镀膜行业,同时覆盖制冷空调、汽车、制药医疗、能源、科研院校等领域。可服务薄膜沉积、真空制程管控、零部件气密性检测、冷媒回收、工艺气体监测等工序。品牌在日本设有本地化业务体系,可提供仪器配套、技术支持等服务,是精密真空与泄漏检测领域的主流供应商。



项目 LDS3000 AQ
产品名称 累积式检漏仪
*小可检漏率(混合气体 / 氦气) 1×10⁻⁶ mbar l/s
测量量程 5 个数量级
测试腔压力 常压
响应时间 <1 s
检测系统 180° 扇形场质谱仪
启动时间 <3 min
离子源 2 支钇 / 铱长寿命阴极,3 年质保
通讯总线 PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet, EtherNet/IP
接口 ISO-KF DN16
数字 IO(搭配 I/O1000 模块) 10 输入,8 输出,PLC 兼容(*高 35V)
记录仪输出 线性 / 对数 0–10 V
串口 RS232, RS485
外形尺寸 (L×W×H) 330×240×280 mm
适用领域 工业自动化产线累积法检漏,可检测流体泄漏

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