Modul1000 氦检漏仪

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产品名称: Modul1000 氦检漏仪
产品型号: Modul1000+RC1000C
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: INFICON 英福康
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Modul1000 氦检漏仪  的详细介绍

INFICON 英福康 产品特点:

INFICON 英福康专注真空测量、气体分析与泄漏检测类精密仪器研发制造,主营检漏仪、真空计、薄膜蒸镀控制器、气体分析仪、RF 传感组件等产品。产品具备高检测精度、优异信号稳定性,可在严苛工况下完成痕量气体、真空度与薄膜厚度实时监测,搭配数字化通讯接口,便于接入产线实现工艺闭环控制;配套智能制造软件,支持制程异常预判,适配自动化连续生产场景。


应用行业:

产品广泛应用于半导体 IDM、晶圆设备制造、动力电池、显示面板、真空镀膜行业,同时覆盖制冷空调、汽车、制药医疗、能源、科研院校等领域。可服务薄膜沉积、真空制程管控、零部件气密性检测、冷媒回收、工艺气体监测等工序。品牌在日本设有本地化业务体系,可提供仪器配套、技术支持等服务,是精密真空与泄漏检测领域的主流供应商。



项目 Modul1000 真空版 Modul1000 嗅探版 Modul1000b 真空 / 嗅探版
产品名称 集成式氦质谱检漏仪 集成式氦质谱检漏仪 集成式氦质谱检漏仪
*小可检漏率 <5×10⁻¹² mbar l/s <5×10⁻¹² mbar l/s <5×10⁻¹² mbar l/s
*大入口压力 0.4 mbar 0.4 mbar 3 mbar
测量量程 12 个数量级,无交叉切换 12 个数量级,无交叉切换 12 个数量级,无交叉切换
入口氦抽速 2.5 L/s 2.5 L/s 2.5 L/s
离子源 2 支长寿命铱 - 氧化钇涂层灯丝 2 支长寿命铱 - 氧化钇涂层灯丝 2 支长寿命铱 - 氧化钇涂层灯丝
启动时间 <3 min <3 min <3 min
接口 DN25 KF DN25 KF DN25 KF
供电 85-265V,50/60Hz 85-265V,50/60Hz 85-265V,50/60Hz
推荐前级泵排量 2.5~16 m³/h,油式 / 干式均可 2.5~16 m³/h,油式 / 干式均可 2.5~16 m³/h,油式 / 干式均可
外形尺寸 (W×D×H) 535×350×339 mm 535×350×339 mm 535×350×339 mm
重量 30 kg 30 kg 30 kg
核心功能 I-CAL 算法、内置标准漏孔、自诊断、I-STICK 参数存储、PLC 通讯 I-CAL 算法、内置标准漏孔、自诊断、I-STICK 参数存储、PLC 通讯 I-CAL 算法、内置标准漏孔、自诊断、I-STICK 参数存储、PLC 通讯,耐受更高入口压力
适用领域 自动化产线集成真空检漏 自动化产线集成嗅探检漏 自动化产线集成,入口压力偏高工况

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