Protec P3000 (XL) 氦检漏仪

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产品名称: Protec P3000 (XL) 氦检漏仪
产品型号: Protec P3000XL 520-004
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: INFICON 英福康
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Protec P3000 (XL) 氦检漏仪  的详细介绍

INFICON 英福康 产品特点:

INFICON 英福康专注真空测量、气体分析与泄漏检测类精密仪器研发制造,主营检漏仪、真空计、薄膜蒸镀控制器、气体分析仪、RF 传感组件等产品。产品具备高检测精度、优异信号稳定性,可在严苛工况下完成痕量气体、真空度与薄膜厚度实时监测,搭配数字化通讯接口,便于接入产线实现工艺闭环控制;配套智能制造软件,支持制程异常预判,适配自动化连续生产场景。


应用行业:

产品广泛应用于半导体 IDM、晶圆设备制造、动力电池、显示面板、真空镀膜行业,同时覆盖制冷空调、汽车、制药医疗、能源、科研院校等领域。可服务薄膜沉积、真空制程管控、零部件气密性检测、冷媒回收、工艺气体监测等工序。品牌在日本设有本地化业务体系,可提供仪器配套、技术支持等服务,是精密真空与泄漏检测领域的主流供应商。



项目 Protec P3000 Protec P3000XL
产品名称 氦嗅探检漏仪 氦嗅探检漏仪
*小可检漏率 1E-7 mbar l/s 1E-7 mbar l/s(300sccm);1E-6 mbar l/s(3000sccm)
测量量程跨度 5 个数量级 5 个数量级 (300sccm);4 个数量级 (3000sccm)
传感器响应时间 450 ms 450 ms
含管线整体响应时间 <0.7 s <0.7 s
气体流量 300 sccm 3000 sccm / 300 sccm
检漏率单位 mbar l/s; Pa m³/s; ppm,冷媒等效单位 g/a; oz/yr; lb/yr mbar l/s; Pa m³/s; ppm,冷媒等效单位 g/a; oz/yr; lb/yr
外形尺寸 (W×D×H) 610×265×370 mm 610×265×370 mm
重量 27 kg 27 kg
工作环境温度 10~45℃ 10~45℃
核心功能 I-Guide 操作引导、内置 PRO-Check 参考漏孔、探头照明、自动待机保护 I-Guide 操作引导、内置 PRO-Check 参考漏孔、探头照明、自动待机保护,大流量可选
适用领域 制冷、暖通、汽车空调产线嗅探检漏 制冷、暖通、汽车空调产线嗅探检漏,大流量工况

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