UL1000移动式氦检漏仪

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产品名称: UL1000移动式氦检漏仪
产品型号: UL1000 550-000A
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: INFICON 英福康
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UL1000移动式氦检漏仪  的详细介绍

INFICON 英福康 产品特点:

INFICON 英福康专注真空测量、气体分析与泄漏检测类精密仪器研发制造,主营检漏仪、真空计、薄膜蒸镀控制器、气体分析仪、RF 传感组件等产品。产品具备高检测精度、优异信号稳定性,可在严苛工况下完成痕量气体、真空度与薄膜厚度实时监测,搭配数字化通讯接口,便于接入产线实现工艺闭环控制;配套智能制造软件,支持制程异常预判,适配自动化连续生产场景。


应用行业:

产品广泛应用于半导体 IDM、晶圆设备制造、动力电池、显示面板、真空镀膜行业,同时覆盖制冷空调、汽车、制药医疗、能源、科研院校等领域。可服务薄膜沉积、真空制程管控、零部件气密性检测、冷媒回收、工艺气体监测等工序。品牌在日本设有本地化业务体系,可提供仪器配套、技术支持等服务,是精密真空与泄漏检测领域的主流供应商。



项目 UL1000 UL1000 Fab
产品名称 移动式氦质谱检漏仪 移动式氦质谱检漏仪
真空模式*小可检漏率 <5×10⁻¹² mbar·l/s <5×10⁻¹² mbar·l/s
嗅探模式*小可检漏率 <5×10⁻⁸ mbar·l/s <5×10⁻⁸ mbar·l/s
GROSS 模式*大入口压力 15 mbar 15 mbar
FINE 模式*大入口压力 2 mbar 2 mbar
ULTRA 模式*大入口压力 0.4 mbar 0.4 mbar
前级泵类型 油封式 干式压缩
抽气阶段抽速 (50Hz) 16 m³/h 25 m³/h
ULTRA 模式氦抽速 2.5 L/s 2.5 L/s
可检测质量数 2,3,4 amu 2,3,4 amu
离子源灯丝 2 支,铱 / 氧化钇涂层 2 支,铱 / 氧化钇涂层
内置校准漏孔 1E-7 mbar·L/s 1E-7 mbar·L/s
测试端口 DN25 KF DN25 KF / DN40 KF
可调触发器 2 组 2 组
通讯接口 RS232 RS232
输入输出 兼容 PLC 兼容 PLC
工作环境温度 +10 ~ +40℃ +10 ~ +40℃
重量 110 kg 110 kg
外形尺寸 (L×W×H) 1068×525×850 mm 1050×472×987 mm
功耗 1100 VA 1100 VA
适用领域 工业真空检漏 半导体洁净环境检漏

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