UL6000 Fab 系列氦检漏仪

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产品名称: UL6000 Fab 系列氦检漏仪
产品型号: UL6000 Fab+I-BOOST
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: INFICON 英福康
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UL6000 Fab 系列氦检漏仪  的详细介绍

INFICON 英福康 产品特点:

INFICON 英福康专注真空测量、气体分析与泄漏检测类精密仪器研发制造,主营检漏仪、真空计、薄膜蒸镀控制器、气体分析仪、RF 传感组件等产品。产品具备高检测精度、优异信号稳定性,可在严苛工况下完成痕量气体、真空度与薄膜厚度实时监测,搭配数字化通讯接口,便于接入产线实现工艺闭环控制;配套智能制造软件,支持制程异常预判,适配自动化连续生产场景。


应用行业:

产品广泛应用于半导体 IDM、晶圆设备制造、动力电池、显示面板、真空镀膜行业,同时覆盖制冷空调、汽车、制药医疗、能源、科研院校等领域。可服务薄膜沉积、真空制程管控、零部件气密性检测、冷媒回收、工艺气体监测等工序。品牌在日本设有本地化业务体系,可提供仪器配套、技术支持等服务,是精密真空与泄漏检测领域的主流供应商。



项目 UL6000 Fab UL6000 Fab PLUS
产品名称 氦质谱检漏仪 氦质谱检漏仪
真空模式*小可检漏率 <5×10⁻¹² mbar·l/s <5×10⁻¹² mbar·l/s
嗅探模式*小可检漏率 <5×10⁻⁹ mbar·l/s <5×10⁻⁹ mbar·l/s
前级泵类型 罗茨泵 罗茨泵
前级泵*大抽速 36 m³/h 36 m³/h
氦*大抽速 (ULTRA 模式) >36 L/s >36 L/s
响应时间 (50L 腔体) 1.4 s 1.4 s
开机预热时间 <2 min <2 min
I-RISE 压力上升测量 - <10 s
入口法兰 DN63 ISO-K DN63 ISO-K
供电电压 100–230 V 50/60Hz 100–230 V 50/60Hz
*大功耗 1500 VA 1500 VA
外形尺寸 (L×W×H) 1050×472×1040 mm 1050×472×1040 mm
重量 143 kg 144 kg
适用领域 半导体真空设备检漏 半导体真空设备检漏

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