XL3000flex 氢氦嗅探检漏仪

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: XL3000flex 氢氦嗅探检漏仪
产品型号: XL3000flex-FULL
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: INFICON 英福康
产品文档: 无相关文档

XL3000flex 氢氦嗅探检漏仪  的详细介绍

INFICON 英福康 产品特点:

INFICON 英福康专注真空测量、气体分析与泄漏检测类精密仪器研发制造,主营检漏仪、真空计、薄膜蒸镀控制器、气体分析仪、RF 传感组件等产品。产品具备高检测精度、优异信号稳定性,可在严苛工况下完成痕量气体、真空度与薄膜厚度实时监测,搭配数字化通讯接口,便于接入产线实现工艺闭环控制;配套智能制造软件,支持制程异常预判,适配自动化连续生产场景。


应用行业:

产品广泛应用于半导体 IDM、晶圆设备制造、动力电池、显示面板、真空镀膜行业,同时覆盖制冷空调、汽车、制药医疗、能源、科研院校等领域。可服务薄膜沉积、真空制程管控、零部件气密性检测、冷媒回收、工艺气体监测等工序。品牌在日本设有本地化业务体系,可提供仪器配套、技术支持等服务,是精密真空与泄漏检测领域的主流供应商。



项目 参数
产品型号 XL3000flex
产品名称 氢氦嗅探式检漏仪
可测气体 氦气、氢气(混合示踪气)
*小可检漏率 2×10⁻⁷ mbar·l/s
气体流量 大流量 3000 sccm;小流量 300 sccm
响应时间 <1 s(高低流量模式)
离子源 两支长寿命钇涂层铱灯丝
开机预热时间 150 s
功率 280 VA
工作电压 100–120 V AC / 230 V AC,50/60Hz
通讯接口 USB;搭配 IO1000 模块:RS232、数字 IO、模拟量输出;搭配 BM1000 模块:PROFIBUS、PROFINET、DeviceNet、EtherNet/IP
应用场景 冰箱、冷柜、空调、暖通、汽车空调及零部件手动 / 自动化检漏

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