外置样品预处理单元

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产品名称: 外置样品预处理单元
产品型号: ESC-FILTER
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: INFICON 英福康
产品文档: 无相关文档

外置样品预处理单元  的详细介绍

INFICON 英福康 产品特点:

INFICON 英福康专注真空测量、气体分析与泄漏检测类精密仪器研发制造,主营检漏仪、真空计、薄膜蒸镀控制器、气体分析仪、RF 传感组件等产品。产品具备高检测精度、优异信号稳定性,可在严苛工况下完成痕量气体、真空度与薄膜厚度实时监测,搭配数字化通讯接口,便于接入产线实现工艺闭环控制;配套智能制造软件,支持制程异常预判,适配自动化连续生产场景。


应用行业:

产品广泛应用于半导体 IDM、晶圆设备制造、动力电池、显示面板、真空镀膜行业,同时覆盖制冷空调、汽车、制药医疗、能源、科研院校等领域。可服务薄膜沉积、真空制程管控、零部件气密性检测、冷媒回收、工艺气体监测等工序。品牌在日本设有本地化业务体系,可提供仪器配套、技术支持等服务,是精密真空与泄漏检测领域的主流供应商。



项目 参数
产品型号 Micro GC Fusion External Sample Conditioner(ESC)
产品名称 外置样品预处理单元
样品入口接口 1/4 英寸 Swagelok 内螺纹快插接头
输入电源 85~264V AC
环境工作温度 0~50℃(32~122℉)
样品*大压力 5516kPa
样品*小压力 14kPa
结构特点 侧开门,滤芯更换便捷;支持现场便携使用、墙面固定安装;可直接对接 Micro GC Fusion 主机
功能 样品恒温保温、降压、过滤气溶胶与冷凝污染物

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