微型气相色谱气体分析仪

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产品名称: 微型气相色谱气体分析仪
产品型号: Micro GC Fusion-2M-STD
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: INFICON 英福康
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微型气相色谱气体分析仪  的详细介绍

INFICON 英福康 产品特点:

INFICON 英福康专注真空测量、气体分析与泄漏检测类精密仪器研发制造,主营检漏仪、真空计、薄膜蒸镀控制器、气体分析仪、RF 传感组件等产品。产品具备高检测精度、优异信号稳定性,可在严苛工况下完成痕量气体、真空度与薄膜厚度实时监测,搭配数字化通讯接口,便于接入产线实现工艺闭环控制;配套智能制造软件,支持制程异常预判,适配自动化连续生产场景。


应用行业:

产品广泛应用于半导体 IDM、晶圆设备制造、动力电池、显示面板、真空镀膜行业,同时覆盖制冷空调、汽车、制药医疗、能源、科研院校等领域。可服务薄膜沉积、真空制程管控、零部件气密性检测、冷媒回收、工艺气体监测等工序。品牌在日本设有本地化业务体系,可提供仪器配套、技术支持等服务,是精密真空与泄漏检测领域的主流供应商。



项目 参数
产品型号 Micro GC Fusion
产品名称 微型气相色谱气体分析仪
模块机箱 2 模块 / 4 模块
重量 2 模块*大 6.2kg;4 模块*大 15.4kg
外形尺寸 2 模块:462×196×254 (mm);4 模块:475×432×271 (mm)
进样器类型 可变体积、大体积、反吹、固定体积
载气 氦气、氢气、氮气、氩气
色谱柱类型 WCOT 壁涂开管柱、PLOT 多孔层开管柱
柱温上限 250℃(不超过柱相耐受温度),分辨率 0.1℃,*大升温速率 5℃/s
检测器 TCD 热导检测器,线性动态范围 10⁶±10%,检出限 1ppm(正己烷,WCOT 柱)
重复性 保留时间≤0.1% RSD;峰面积≤1% RSD(浓度≥0.1% 组分,WCOT 柱)
工作环境 环境温度 0~50℃,相对湿度 5~95%(无凝露)
通讯 有线 RJ45 以太网;无线 IEEE 802.11a/g/n
供电 100-240V AC,50-60Hz,5A;2 模块输出 24V DC,260W
软件 网页版控制软件,兼容 EZ IQ、OpenLAB CDS EZChrom

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