HP100 气体分析仪

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产品名称: HP100 气体分析仪
产品型号: Quantus HP100-V
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: INFICON 英福康
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HP100 气体分析仪  的详细介绍

INFICON 英福康 产品特点:

INFICON 英福康专注真空测量、气体分析与泄漏检测类精密仪器研发制造,主营检漏仪、真空计、薄膜蒸镀控制器、气体分析仪、RF 传感组件等产品。产品具备高检测精度、优异信号稳定性,可在严苛工况下完成痕量气体、真空度与薄膜厚度实时监测,搭配数字化通讯接口,便于接入产线实现工艺闭环控制;配套智能制造软件,支持制程异常预判,适配自动化连续生产场景。


应用行业:

产品广泛应用于半导体 IDM、晶圆设备制造、动力电池、显示面板、真空镀膜行业,同时覆盖制冷空调、汽车、制药医疗、能源、科研院校等领域。可服务薄膜沉积、真空制程管控、零部件气密性检测、冷媒回收、工艺气体监测等工序。品牌在日本设有本地化业务体系,可提供仪器配套、技术支持等服务,是精密真空与泄漏检测领域的主流供应商。



项目 参数
产品型号 Quantus HP100
产品名称 气体分析仪
技术原理 集成微波微等离子体的光发射光谱 OES,内置光谱仪与射频电源
光谱范围 200–850nm(UV-VIS),16bit,3648 像素,分辨率 1.34nm
曝光时间 *小 1ms
采样频率 *高 20Hz
检出限 <1ppm(视工况)
工作压力 Ar:1–450Torr;N₂:1–120Torr
真空接口 KF25
通讯方式 以太网
工作环境温度 0~50℃(无凝露),传感单元*高 80℃
供电 24Vdc @2.5A,可选 AC/DC 转换器
外形尺寸 162H×153W×210L(mm)
重量 3.7kg

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