光学等离子真空计

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产品名称: 光学等离子真空计
产品型号: 3OF0-011-010G
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: INFICON 英福康
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光学等离子真空计  的详细介绍

INFICON 英福康 产品特点:

INFICON 英福康专注真空测量、气体分析与泄漏检测类精密仪器研发制造,主营检漏仪、真空计、薄膜蒸镀控制器、气体分析仪、RF 传感组件等产品。产品具备高检测精度、优异信号稳定性,可在严苛工况下完成痕量气体、真空度与薄膜厚度实时监测,搭配数字化通讯接口,便于接入产线实现工艺闭环控制;配套智能制造软件,支持制程异常预判,适配自动化连续生产场景。


应用行业:

产品广泛应用于半导体 IDM、晶圆设备制造、动力电池、显示面板、真空镀膜行业,同时覆盖制冷空调、汽车、制药医疗、能源、科研院校等领域。可服务薄膜沉积、真空制程管控、零部件气密性检测、冷媒回收、工艺气体监测等工序。品牌在日本设有本地化业务体系,可提供仪器配套、技术支持等服务,是精密真空与泄漏检测领域的主流供应商。



项目 参数
产品型号 Augent OPG550(订货编码 3OF0 系列)
产品名称 光学等离子真空计
氮气测量量程 1×10⁻⁷~5 mbar
重复性(1×10⁻⁷~100mbar,N₂) 5% 读数
工作环境温度 +5~+50 ℃
存储温度 -20~+70 ℃
带电子单元法兰烘烤温度 ≤80 ℃
无电子单元法兰烘烤温度 ≤120 ℃
供电电压 +14.5~+30 Vdc
功耗 ≤5 W
真空接触材质 氧化铝、不锈钢、钼、钛
接口类型 RS232 / PROFINET / EtherCAT
法兰可选规格 DN16 ISO-KF、DN16 CF-R、DN25 ISO-KF、DN40 ISO-KF、8 VCR female、DN40 CF-F

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