宽量程 HF 浓度计

Name: 宽量程 HF 浓度计
Brand: HORIBA 堀场
SKU: HF-960EM-WR

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产品名称: 宽量程 HF 浓度计

产品型号: HF-960EM-WR

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: HORIBA 堀场

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宽量程 HF 浓度计 的详细介绍

HORIBA堀场产品特点：

HORIBA堀场拥有半导体全制程工艺控制与检测全系列产品，涵盖MFC流体控制、湿法药液监测、干法工艺监测、光罩洁净设备、晶圆材料表征、厂务环境监测六大核心品类，是先进晶圆产线主流标配方案。产品核心特点为高精度、快响应、高稳定性、强耐腐蚀性，适配腐蚀特种气体与高温酸碱药液，支持半导体工业通讯与产线自动化闭环控制，可有效降低工艺偏差、减少颗粒缺陷、提升生产良率。堀场设备可覆盖刻蚀、ALD/CVD薄膜沉积、湿法清洗、光刻、CMP、外延等全部关键工序，同时满足量产物控与高精材料研发需求。

应用行业：

产品广泛应用于逻辑、存储、MCU、先进封装等集成电路领域，适配SiC/GaN功率半导体、Mini/Micro LED光电子器件，同时服务光伏、显示面板行业及半导体实验室科研检测场景。

参数项目	HF-960EM-STD	HF-960EM-MCH	HF-960EM-WR	HF-960EM-HD
适配传感器	CM-520 标准 PFA 传感器	CM-520 全规格传感器	CM-520 宽量程高精度探头	CM-520 高压耐腐传感器
测量量程	HF 0~50%、HCl 0~10%、电导率 0~2000mS/cm、温度 0~100℃	HF 0~50%、HCl 0~10%、电导率 0~2000mS/cm、温度 0~100℃	HF 分段高精度显示，*低分辨率 5ppm	HF 0~50%，耐受高压高温药液工况
核心功能	自动量程切换、零点 / 跨度校准	RS485 总线通讯，多设备组网	细分多段显示分辨率，精准低浓度检测	整机密封强化，防强腐蚀飞溅
信号输出	4 路隔离 4-20mA 模拟、5 路报警继电器	4 路模拟 + RS485 通讯，2 路外部触点输入	模拟输出分段自定义，低浓度信号优化	隔离型输出，抗电磁干扰能力提升
供电规格	直流 24V±10%，功率 15W	直流 24V±10%，功率 15W	直流 24V±10%，稳压模块升级	直流 24V±10%，内置浪涌保护
重复精度	浓度 ±0.5% FS，线性 ±0.5% FS	全量程同步误差自动修正	低浓度段重复误差≤0.4% FS	高低压力工况测量稳定无漂移
整机重量	约 550g	约 550g	约 550g	约 610g
合规认证	RoHS、CE、FCC Part15	RoHS、CE、FCC Part15	RoHS、CE	RoHS、CE、FCC Part15

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