HF/HCl 浓度计

Name: HF/HCl 浓度计
Brand: HORIBA 堀场
SKU: HF-960H-STD

点击看大图

如果您对该产品感兴趣的话,可以

产品名称: HF/HCl 浓度计

产品型号: HF-960H-STD

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: HORIBA 堀场

产品文档: 无相关文档

HF/HCl 浓度计 的详细介绍

HORIBA堀场产品特点：

HORIBA堀场拥有半导体全制程工艺控制与检测全系列产品，涵盖MFC流体控制、湿法药液监测、干法工艺监测、光罩洁净设备、晶圆材料表征、厂务环境监测六大核心品类，是先进晶圆产线主流标配方案。产品核心特点为高精度、快响应、高稳定性、强耐腐蚀性，适配腐蚀特种气体与高温酸碱药液，支持半导体工业通讯与产线自动化闭环控制，可有效降低工艺偏差、减少颗粒缺陷、提升生产良率。堀场设备可覆盖刻蚀、ALD/CVD薄膜沉积、湿法清洗、光刻、CMP、外延等全部关键工序，同时满足量产物控与高精材料研发需求。

应用行业：

产品广泛应用于逻辑、存储、MCU、先进封装等集成电路领域，适配SiC/GaN功率半导体、Mini/Micro LED光电子器件，同时服务光伏、显示面板行业及半导体实验室科研检测场景。

参数项目	HF-960H-STD	HF-960H-MCH	HF-960H-TC	HF-960H-HD
适配传感器	FES-510 系列流通碳传感器	FES-510 系列全规格传感器	FES-510 耐高温款传感器	FES-510 高压耐腐蚀传感器
测量量程	氟化氢 0~10%、氯化氢 0~10%、电导率 0~1000mS/cm、温度 0~100℃	氟化氢 0~10%、氯化氢 0~10%、电导率 0~1000mS/cm、温度 0~100℃	氟化氢 0~10%、氯化氢 0~10%、电导率 0~1000mS/cm、温度 0~100℃	氟化氢 0~10%、氯化氢 0~10%、电导率 0~1000mS/cm、温度 0~100℃
测量原理	四电极流通式电导率换算浓度	四电极流通式，多通道信号采集	带高精度铂金电阻温度补偿算法	宽压力适配温度补偿曲线
信号输出	4 路 4-20mA 模拟输出，5 路报警继电器触点	4 路模拟输出 + RS485 通讯，7 组自定义报警点	4 路模拟输出，温度信号独立变送输出	隔离型模拟输出，抗强电磁干扰
供电规格	直流 24V±10%，*大功率 10W	直流 24V±10%，*大功率 10W	直流 24V±10%，宽温电压稳定	直流 24V±10%，防浪涌电源模块
防护等级	面板 IP65、后盖 IP20、端子 IP00	面板 IP65，通讯端子防腐涂层	面板 IP65，耐高温密封胶条	整机加强密封，药液飞溅防护升级
重复精度	浓度 ±0.5% FS，电导率 ±1.0% FS	浓度 ±0.5% FS，多通道同步误差修正	温度补偿后浓度误差≤0.4% FS	高低压工况下测量线性稳定
整机重量	约 550g	约 550g	约 550g	约 610g
合规认证	RoHS、CE、FCC Part15	RoHS、CE、FCC Part15	RoHS、CE	RoHS、CE、FCC Part15

产品留言

标题

联系人

联系电话

内容

验证码

点击换一张

注：1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!