低浓度 HF/HCl/NH₃浓度计

Name: 低浓度 HF/HCl/NH₃浓度计
Brand: HORIBA 堀场
SKU: HF-960M-NH3

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产品名称: 低浓度 HF/HCl/NH₃浓度计

产品型号: HF-960M-NH3

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: HORIBA 堀场

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低浓度 HF/HCl/NH₃浓度计 的详细介绍

HORIBA堀场产品特点：

HORIBA堀场拥有半导体全制程工艺控制与检测全系列产品，涵盖MFC流体控制、湿法药液监测、干法工艺监测、光罩洁净设备、晶圆材料表征、厂务环境监测六大核心品类，是先进晶圆产线主流标配方案。产品核心特点为高精度、快响应、高稳定性、强耐腐蚀性，适配腐蚀特种气体与高温酸碱药液，支持半导体工业通讯与产线自动化闭环控制，可有效降低工艺偏差、减少颗粒缺陷、提升生产良率。堀场设备可覆盖刻蚀、ALD/CVD薄膜沉积、湿法清洗、光刻、CMP、外延等全部关键工序，同时满足量产物控与高精材料研发需求。

应用行业：

产品广泛应用于逻辑、存储、MCU、先进封装等集成电路领域，适配SiC/GaN功率半导体、Mini/Micro LED光电子器件，同时服务光伏、显示面板行业及半导体实验室科研检测场景。

参数项目	HF-960M-STD	HF-960M-MCH	HF-960M-NH3	HF-960M-HP
适配传感器	FS-10F 流通式传感器	FS-10F 流通式传感器	FS-10F 流通式传感器	FS-10F 耐腐蚀加强型传感器
测量量程	氟化氢 0~5000ppm、氯化氢 0~5000ppm、氨水 0~10000ppm、电导率 0~50.0mS/cm	氟化氢 0~5000ppm、氯化氢 0~5000ppm、氨水 0~10000ppm、电导率 0~50.0mS/cm	氟化氢 0~3000ppm、氯化氢 0~3000ppm、氨水 0~10000ppm、电导率 0~50.0mS/cm	氟化氢 0~5000ppm、氯化氢 0~5000ppm、氨水 0~10000ppm、电导率 0~50.0mS/cm
测量模式	5 种（HF/HCl/NH₃浓度、电导率、温度）	5 种，拓展 7 组自定义输出点	5 种，氨水浓度细分校准曲线	5 种，耐腐蚀温度补偿算法
信号输出	3 通道传输输出，模拟量程自定义	3 通道，7 个输出点位，双路模拟信号	3 通道，氨水量程分段输出	3 通道，防水型接线端子输出
供电规格	直流 24V，*大功率 10W	直流 24V，*大功率 10W	直流 24V，*大功率 10W	直流 24V，宽压波动耐受
结构防护	室内面板安装，面板 IP65 防尘防水	面板 IP65，端子防腐蚀 PBT 材质	面板 IP65，耐氨水汽体腐蚀外壳	升级 IP65，整机防化学飞溅结构
外形尺寸	宽 96× 高 96× 深 115mm，面板安装深度约 105mm	宽 96× 高 96× 深 115mm	宽 96× 高 96× 深 115mm	宽 96× 高 96× 深 115mm 加厚壳体
整机重量	约 550g	约 550g	约 550g	约 620g
合规认证	RoHS、CE、FCC Part15	RoHS、CE、FCC Part15	RoHS、CE	RoHS、CE、FCC Part15，防爆辅助认证

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