独立式药液浓度计

Name: 独立式药液浓度计
Brand: HORIBA 堀场
SKU: CS-100-Basic

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产品名称: 独立式药液浓度计

产品型号: CS-100-Basic

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: HORIBA 堀场

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独立式药液浓度计 的详细介绍

HORIBA堀场产品特点：

HORIBA堀场拥有半导体全制程工艺控制与检测全系列产品，涵盖MFC流体控制、湿法药液监测、干法工艺监测、光罩洁净设备、晶圆材料表征、厂务环境监测六大核心品类，是先进晶圆产线主流标配方案。产品核心特点为高精度、快响应、高稳定性、强耐腐蚀性，适配腐蚀特种气体与高温酸碱药液，支持半导体工业通讯与产线自动化闭环控制，可有效降低工艺偏差、减少颗粒缺陷、提升生产良率。堀场设备可覆盖刻蚀、ALD/CVD薄膜沉积、湿法清洗、光刻、CMP、外延等全部关键工序，同时满足量产物控与高精材料研发需求。

应用行业：

产品广泛应用于逻辑、存储、MCU、先进封装等集成电路领域，适配SiC/GaN功率半导体、Mini/Micro LED光电子器件，同时服务光伏、显示面板行业及半导体实验室科研检测场景。

参数项	规格详情
产品名称	CS-100 Series 独立式化学药液浓度计
检测原理	吸光光谱法（UV/NIR 紫外近红外波段）
药液适用温度	20~30℃
环境工作温度	20~25℃
*大检测组分	4 种组分，*多 4 组药液量程切换
输出通讯	并行 IO、4-20mA 模拟输出、RS-232C 串口
模拟输出能力	*多 2 路组分 4~20mA 信号
整机尺寸	205(W)×329(D)×269(H) mm
供电电源	DC 24V
消耗耗材	卤素光源灯
接触药液材质	PTFE、PFA、蓝宝石 / 石英
核心功能	全自动短周期测量、气泡消除、浓度异常报警、药液补给提醒
合规标准	RoHS 环保标准

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