光纤药液浓度计

Name: 光纤药液浓度计
Brand: HORIBA 堀场
SKU: CS-152F1-S

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产品名称: 光纤药液浓度计

产品型号: CS-152F1-S

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: HORIBA 堀场

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光纤药液浓度计 的详细介绍

HORIBA堀场产品特点：

HORIBA堀场拥有半导体全制程工艺控制与检测全系列产品，涵盖MFC流体控制、湿法药液监测、干法工艺监测、光罩洁净设备、晶圆材料表征、厂务环境监测六大核心品类，是先进晶圆产线主流标配方案。产品核心特点为高精度、快响应、高稳定性、强耐腐蚀性，适配腐蚀特种气体与高温酸碱药液，支持半导体工业通讯与产线自动化闭环控制，可有效降低工艺偏差、减少颗粒缺陷、提升生产良率。堀场设备可覆盖刻蚀、ALD/CVD薄膜沉积、湿法清洗、光刻、CMP、外延等全部关键工序，同时满足量产物控与高精材料研发需求。

应用行业：

产品广泛应用于逻辑、存储、MCU、先进封装等集成电路领域，适配SiC/GaN功率半导体、Mini/Micro LED光电子器件，同时服务光伏、显示面板行业及半导体实验室科研检测场景。

参数项目	CS-151F1	CS-152F1	CS-150F1	通用全系参数
检测药液	SC-1（氨水 / 双氧水）	SC-2（盐酸 / 双氧水）	SPM（硫酸 / 双氧水）	单台*多 4 种药液切换检测；支持 BHF、TMAH、HF 混酸等
测量原理	吸光光谱法	吸光光谱法	吸光光谱法	温度补偿多元分析法计算浓度
量程 (mass%)	NH₃：0~1.00 H₂O₂：0~5.00 H₂O：94~100	HCl：0~2.00 H₂O₂：0~2.00 H₂O：96~100	H₂SO₄：70~96 H₂O₂：0~10 H₂O：4~30	可定制其他量程，下单时备注
重复精度 (mass%)	NH₃±0.15 H₂O₂±0.30 H₂O±1.5	HCl±0.15 H₂O₂±0.15 H₂O±1.5	H₂SO₄±0.50 H₂O₂±0.50 H₂O±1.5	室温波动≤±1℃条件下测试；流通池 / 标准池精度有差异
药液温度	流通池 20~80℃；标准池 20~30℃	流通池 20~80℃；标准池 20~30℃	流通池 20~80℃；标准池 20~30℃	全系通用温度区间
测量周期	约 3 秒	约 3 秒	约 3 秒	单次检测耗时统一 3 秒
通讯输入	RS232、12~30V 光耦隔离并行输入	RS232、12~30V 光耦隔离并行输入	RS232、12~30V 光耦隔离并行输入	支持药液切换、校正、数据读取指令
信号输出	NPN 集电极开路并行输出；双路 4~20mA 模拟量	NPN 集电极开路并行输出；双路 4~20mA 模拟量	NPN 集电极开路并行输出；双路 4~20mA 模拟量	并行输出含报警、故障、测量状态；模拟量支持自定义量程
测温接口	M3 端子，外接 A 级 Pt100 铂电阻（不含传感器）	M3 端子，外接 A 级 Pt100 铂电阻（不含传感器）	M3 端子，外接 A 级 Pt100 铂电阻（不含传感器）	三线制铂电阻测温
配套配件	专用光纤线缆；可选流通池 / 标准样品池	专用光纤线缆；可选流通池 / 标准样品池	专用光纤线缆；可选流通池 / 标准样品池	光纤耐温 25±15℃，分管路安装式 / 一体式样品池
供电规格	单相 100~230V AC ±10%，50/60Hz，100VA	单相 100~230V AC ±10%，50/60Hz，100VA	单相 100~230V AC ±10%，50/60Hz，100VA	整机尺寸 205 (W)×329 (D)×269 (H) mm，整机约 11kg
合规标准	RoHS	RoHS	RoHS	电气单元与测量液路完全隔离

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