高精度化学药液浓度计

Name: 高精度化学药液浓度计
Brand: HORIBA 堀场
SKU: CS-700-B3

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产品名称: 高精度化学药液浓度计

产品型号: CS-700-B3

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: HORIBA 堀场

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高精度化学药液浓度计 的详细介绍

HORIBA堀场产品特点：

HORIBA堀场拥有半导体全制程工艺控制与检测全系列产品，涵盖MFC流体控制、湿法药液监测、干法工艺监测、光罩洁净设备、晶圆材料表征、厂务环境监测六大核心品类，是先进晶圆产线主流标配方案。产品核心特点为高精度、快响应、高稳定性、强耐腐蚀性，适配腐蚀特种气体与高温酸碱药液，支持半导体工业通讯与产线自动化闭环控制，可有效降低工艺偏差、减少颗粒缺陷、提升生产良率。堀场设备可覆盖刻蚀、ALD/CVD薄膜沉积、湿法清洗、光刻、CMP、外延等全部关键工序，同时满足量产物控与高精材料研发需求。

应用行业：

产品广泛应用于逻辑、存储、MCU、先进封装等集成电路领域，适配SiC/GaN功率半导体、Mini/Micro LED光电子器件，同时服务光伏、显示面板行业及半导体实验室科研检测场景。

参数项目	详细规格
型号	CS-700
测量原理	吸光光谱法（UV/NIR 波段）
核心优势	检测性能较 CS-100 提升 5 倍；*多检测 8 种组分，支持 6 组药液量程
标准检测介质（混合酸体系）	HNO₃、HF、H₃PO₄、H₂SiF₆、H₂O
标准量程 & 重复精度（mass%）	HNO₃：30.0~34.0，±0.5 HF：2.00~4.00，±0.10 H₃PO₄：35.0~39.0，±0.6 H₂SiF₆：0.00~3.00，±0.50 H₂O：25.0~33.0，±1.0
测量条件	测量周期约 8s；移动平均 10 次；1 小时内药液 / 环境温度波动≤±1℃；样品温度 20~30℃
信号输出	并行 I/O、RS-232C 串口；多 6 路 4~20mA 模拟量输出，大负载 500Ω；故障信号锁定固定值
尺寸	W218×D391×H213(mm)
供电	DC 24V，接口与 CS-100 通用
接触药液材质	PTFE、PFA、蓝宝石、Kalrez 4079 密封圈
耗材	卤素灯（与 CS-100 通用）
环境温度	20~30℃（前代 CS-100 为 20~25℃，适配区间更广）
安装特性	整机一体化，无需分体光纤；即装即用，无试剂消耗

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