大阪真空 Osaka Vacuum 产品特点:
株式会社大阪真空機器製作所专注真空设备研发七十余年,核心优势为自研复合转子涡轮分子泵技术,依托复合叶片结构,拓宽有效抽气区间,对各类工艺气体适配性更强。产品兼顾低振动、低噪音、结构紧凑的特性,拥有滚珠轴承与磁悬浮多种机型,可提供耐腐蚀特殊规格,满足洁净制程需求。产品线覆盖涡轮分子泵、干式泵、油封泵及成套真空机组,实现低真空至超高真空全区间排气方案。
应用行业:
产品广泛应用于众多高精制造领域:半导体设备、光学镀膜、MEMS 传感器加工;理化分析仪器、质谱检测设备、实验室科研装置;航天真空模拟测试、医疗加速器、真空冻干设备;同时适配汽车零部件镀膜、工业真空热处理等场景,大量配套日系精密工艺设备,可为自动化设备厂商提供标准化及定制化真空排气解决方案。
型号 涡轮分子泵 N₂排气速度 (L/s) 极限压力 (Pa) 吸气口 排气口 辅助隔膜泵 重量 (kg) 冷却方式 输入电压 *大电力 (VA) STC70FR005 TG70FRAB 70 10⁻⁵ ISO-R63 G1/8 4.2 L/min 14 强制风冷 AC100V 200 STC70FR013 TG70FRAB 70 10⁻⁵ ISO-R63 G1/8 13 L/min 19 强制风冷 AC100V 210 STC70FRXXX TG70FRAB 70 10⁻⁵ ISO-R63 G1/8 待定 待定 强制风冷 AC100V 待定 STC70FRXXX TG70FRAB 70 10⁻⁵ ISO-R63 G1/8 待定 待定 强制风冷 AC100V 待定
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