大阪真空 Osaka Vacuum 产品特点：
株式会社大阪真空機器製作所专注真空设备研发七十余年，核心优势为自研复合转子涡轮分子泵技术，依托复合叶片结构，拓宽有效抽气区间，对各类工艺气体适配性更强。产品兼顾低振动、低噪音、结构紧凑的特性，拥有滚珠轴承与磁悬浮多种机型，可提供耐腐蚀特殊规格，满足洁净制程需求。产品线覆盖涡轮分子泵、干式泵、油封泵及成套真空机组，实现低真空至超高真空全区间排气方案。
应用行业：
产品广泛应用于众多**制造领域：半导体设备、光学镀膜、MEMS 传感器加工；理化分析仪器、质谱检测设备、实验室科研装置；航天真空模拟测试、医疗加速器、真空冻干设备；同时适配汽车零部件镀膜、工业真空热处理等场景，大量配套日系精密工艺设备，可为自动化设备厂商提供标准化及定制化真空排气解决方案。
型号 抽速 N₂(L/s) 吸气口法兰 排气口 控制器形式 配套控制器 允许辅助压力 核心优势 TG60F 60 ISO-R63/CF63 KF16 泵体一体化 TC65 800Pa 集成布线，任意角度安装 TG60F-20 60 ISO-R63/CF63 KF16 外置分离式 TC66 800Pa 具备 SEMI-S2、CE **认证 TG70F 70 ISO-R63/CF63 KF16 泵体一体化 TC75 1200Pa 更大氢气抽速，一体集成结构 TG70F-20 70 ISO-R63/CF63 KF16 外置分离式 TC76 1200Pa 独立控制器，满足半导体设备**标准
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