大阪真空 Osaka Vacuum 产品特点:
株式会社大阪真空機器製作所专注真空设备研发七十余年,核心优势为自研复合转子涡轮分子泵技术,依托复合叶片结构,拓宽有效抽气区间,对各类工艺气体适配性更强。产品兼顾低振动、低噪音、结构紧凑的特性,拥有滚珠轴承与磁悬浮多种机型,可提供耐腐蚀特殊规格,满足洁净制程需求。产品线覆盖涡轮分子泵、干式泵、油封泵及成套真空机组,实现低真空至超高真空全区间排气方案。
应用行业:
产品广泛应用于众多**制造领域:半导体设备、光学镀膜、MEMS 传感器加工;理化分析仪器、质谱检测设备、实验室科研装置;航天真空模拟测试、医疗加速器、真空冻干设备;同时适配汽车零部件镀膜、工业真空热处理等场景,大量配套日系精密工艺设备,可为自动化设备厂商提供标准化及定制化真空排气解决方案。
型号 产品名称 泵类型 氮气抽速 (L/s) 吸气口法兰 排气口 轴承形式 驱动形式 配套控制器 核心特性 适用工况 TG50F 脂润滑滚珠轴承涡轮分子泵 滚珠轴承外置控制器型 51 VG65 / ISO-R63 / CF63 KF16 脂润滑滚珠轴承 外置驱动 TC64A 任意角度安装、免维护、耐冲击,机身小巧 理化仪器、小型光学设备、科研装置 TG220F 脂润滑滚珠轴承涡轮分子泵 滚珠轴承外置控制器型 220 ISO-R100/VG100 KF25 脂润滑滚珠轴承 外置驱动 TC 系列控制器 任意角度安装、免维护、耐冲击 光学设备、小型镀膜、实验室真空系统 TG350F 脂润滑滚珠轴承涡轮分子泵 滚珠轴承外置控制器型 350 ISO-R160/VG150 KF25 脂润滑滚珠轴承 外置驱动 TC 系列控制器 任意角度安装、免维护、耐冲击 理化设备、显示行业、中小型真空腔体 TG450F 脂润滑滚珠轴承涡轮分子泵 滚珠轴承外置控制器型 450 ISO-R160/VG150 KF40 脂润滑滚珠轴承 外置驱动 TC 系列控制器 任意角度安装、免维护、耐冲击 新能源设备、通用工业真空装置 TG800F 脂润滑滚珠轴承涡轮分子泵 滚珠轴承外置控制器型 800 ISO-R200/VG200 KF40 脂润滑滚珠轴承 外置驱动 TC 系列控制器 任意角度安装、免维护、耐冲击 镀膜设备、航天测试、中型真空系统 TG1100F 脂润滑滚珠轴承涡轮分子泵 滚珠轴承外置控制器型 1100 ISO-R200/VG200 KF40 脂润滑滚珠轴承 外置驱动 TC 系列控制器 任意角度安装、免维护、耐冲击 工业镀膜、材料研发、能源实验设备 TG1400F 脂润滑滚珠轴承涡轮分子泵 滚珠轴承外置控制器型 1400 ISO-R250/VG250 KF40 脂润滑滚珠轴承 外置驱动 TC 系列控制器 任意角度安装、免维护、耐冲击 中大型真空腔体、光学镀膜产线 TG2400F 脂润滑滚珠轴承涡轮分子泵 滚珠轴承外置控制器型 2400 ISO-R320/VG300 KF50 脂润滑滚珠轴承 外置驱动 TC 系列控制器 任意角度安装、免维护、耐冲击 大型镀膜、航天真空模拟、量产设备
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