大阪真空 Osaka Vacuum 产品特点：
株式会社大阪真空機器製作所专注真空设备研发七十余年，核心优势为自研复合转子涡轮分子泵技术，依托复合叶片结构，拓宽有效抽气区间，对各类工艺气体适配性更强。产品兼顾低振动、低噪音、结构紧凑的特性，拥有滚珠轴承与磁悬浮多种机型，可提供耐腐蚀特殊规格，满足洁净制程需求。产品线覆盖涡轮分子泵、干式泵、油封泵及成套真空机组，实现低真空至超高真空全区间排气方案。
应用行业：
产品广泛应用于众多**制造领域：半导体设备、光学镀膜、MEMS 传感器加工；理化分析仪器、质谱检测设备、实验室科研装置；航天真空模拟测试、医疗加速器、真空冻干设备；同时适配汽车零部件镀膜、工业真空热处理等场景，大量配套日系精密工艺设备，可为自动化设备厂商提供标准化及定制化真空排气解决方案。
型号 产品名称 泵类型 氮气抽速 (L/s) 吸气口法兰 排气口 转子结构 支撑方式 驱动形式 配套控制器 核心特性 适用工况 TG390MI 反应生成物对应磁悬浮涡轮分子泵 外置控制器型 340 ISO-B100/VG100 KF25 SGP 复合转子 磁悬浮轴承 外置驱动 TC010MBT 绝热自加热、隔绝热量保护泵体，防止生成物堆积 半导体刻蚀、易产生反应生成物工艺 TG420MI 反应生成物对应磁悬浮涡轮分子泵 外置控制器型 400 ISO-B160/VG150 KF25 SGP 复合转子 磁悬浮轴承 外置驱动 TC010MBT 绝热自加热、隔绝热量保护泵体，防止生成物堆积 半导体刻蚀、易产生反应生成物工艺 TG900MI 反应生成物对应磁悬浮涡轮分子泵 外置控制器型 900 ISO-B160/VG150 KF40 SGP 复合转子 磁悬浮轴承 外置驱动 TC010MBT 绝热自加热、隔绝热量保护泵体，防止生成物堆积 半导体刻蚀、易产生反应生成物工艺 TG1300MI 反应生成物对应磁悬浮涡轮分子泵 外置控制器型 1300 ISO-B200/VG200 KF40 SGP 复合转子 磁悬浮轴承 外置驱动 TC010MBT 绝热自加热、隔绝热量保护泵体，防止生成物堆积 半导体刻蚀、易产生反应生成物工艺 TG2400MI 反应生成物对应磁悬浮涡轮分子泵 外置控制器型 2400 ISO-B250/VG250 KF40 SGP 复合转子 磁悬浮轴承 外置驱动 TC010MBT 绝热自加热、隔绝热量保护泵体，防止生成物堆积 半导体刻蚀、易产生反应生成物工艺
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