富士科技 FUJI Technology 产品特点：
富士科技依托富士精机集团近 50 年真空领域技术积累，主营各类真空阀门与真空零部件，产品覆盖蝶阀、闸阀、ELV、DX 系列真空阀等品类。产品依托 ISO Class7 洁净车间生产制造，严控生产工艺，适配高洁净工况；品类体系完善，支持常规供货与维修翻新、样品出借配套服务，可满足设备定制、维护全周期需求。
应用行业：
产品广泛应用于半导体制造、光学精密设备、真空镀膜等领域，同时服务化学工业、汽车制造、科研实验装置市场。合作群体包含知名设备厂商、材料企业以及日本多所高校与科研机构，适配薄膜沉积、精密检测、真空热处理等工艺场景，能够满足工业量产设备与实验室真空装置对密封性、洁净度的使用需求，为**真空系统提供可靠流体控制解决方案。
项目 MEX-80JIS-LD-M4-ARJ MEX-100JIS-LD-M4-ARJ MEX-150JIS-LD-M4-ARJ MEX-200JIS-LD-M4-ARJ 产品名称 电机驱动紧凑型真空闸阀 电机驱动紧凑型真空闸阀 电机驱动紧凑型真空闸阀 电机驱动紧凑型真空闸阀 法兰标准 JIS JIS JIS JIS 公称口径 80mm 100mm 150mm 200mm 壳体漏率 ≤1×10⁻¹¹ Pa·m³/s ≤1×10⁻¹¹ Pa·m³/s ≤1×10⁻¹¹ Pa·m³/s ≤1×10⁻¹¹ Pa·m³/s 闸板漏率 ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s 工作压力区间 10⁵ ~ 10⁻⁶ Pa 10⁵ ~ 10⁻⁶ Pa 10⁵ ~ 10⁻⁶ Pa 10⁵ ~ 10⁻⁶ Pa 驱动方式 AC 伺服驱动 AC 伺服驱动 AC 伺服驱动 AC 伺服驱动 密封材质 Viton O 型圈 Viton O 型圈 Viton O 型圈 Viton O 型圈 定位能力 *多记忆 13 组开度点位 *多记忆 13 组开度点位 *多记忆 13 组开度点位 *多记忆 13 组开度点位 阀体材质 SUS304 SUS304 SUS304 SUS304 电机安装方位 R/L/F 三种可选 R/L/F 三种可选 R/L/F 三种可选 R/L/F 三种可选 电源规格 主电源 AC200V；控制电源 AC200V；外接 DC24V 主电源 AC200V；控制电源 AC200V；外接 DC24V 主电源 AC200V；控制电源 AC200V；外接 DC24V 主电源 AC200V；控制电源 AC200V；外接 DC24V 拓展功能 可加装控制器实现真空自动调压 可加装控制器实现真空自动调压 可加装控制器实现真空自动调压 可加装控制器实现真空自动调压
可加装控制器实现真空自动调压
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