富士科技 FUJI Technology 产品特点：
富士科技依托富士精机集团近 50 年真空领域技术积累，主营各类真空阀门与真空零部件，产品覆盖蝶阀、闸阀、ELV、DX 系列真空阀等品类。产品依托 ISO Class7 洁净车间生产制造，严控生产工艺，适配高洁净工况；品类体系完善，支持常规供货与维修翻新、样品出借配套服务，可满足设备定制、维护全周期需求。
应用行业：
产品广泛应用于半导体制造、光学精密设备、真空镀膜等领域，同时服务化学工业、汽车制造、科研实验装置市场。合作群体包含知名设备厂商、材料企业以及日本多所高校与科研机构，适配薄膜沉积、精密检测、真空热处理等工艺场景，能够满足工业量产设备与实验室真空装置对密封性、洁净度的使用需求，为**真空系统提供可靠流体控制解决方案。
项目 MBV-3ADⅡ-M4-ARJ（50A JIS） MBV-NW50ADⅡ-M4-ARJ（NW50） MBV-ISO50ADⅡ-M4-ARJ（ISO50） MBV-CF50ADⅡ-M4-ARJ（CF50） 产品名称 电机直驱伺服真空蝶阀 电机直驱伺服真空蝶阀 电机直驱伺服真空蝶阀 电机直驱伺服真空蝶阀 法兰形式 JIS NW ISO CF 公称口径 50A NW50 ISO50 CF50 漏率 1×10⁻⁹ Pa・m³/s 以下 1×10⁻⁹ Pa・m³/s 以下 1×10⁻⁹ Pa・m³/s 以下 1×10⁻⁹ Pa・m³/s 以下 工作压力区间 10⁵ ~ 10⁻⁶ Pa 10⁵ ~ 10⁻⁶ Pa 10⁵ ~ 10⁻⁶ Pa 10⁵ ~ 10⁻⁶ Pa 阀板密封 EPDM O 型圈密封 EPDM O 型圈密封 EPDM O 型圈密封 EPDM O 型圈密封 轴密封 2 处 EPDM O 型圈密封 2 处 EPDM O 型圈密封 2 处 EPDM O 型圈密封 2 处 EPDM O 型圈密封 驱动方式 伺服电机直驱结构 伺服电机直驱结构 伺服电机直驱结构 伺服电机直驱结构 阀体材质 SUS304 SUS304 SUS304 SUS304 标配组件 阀体角度外置指示器 阀体角度外置指示器 阀体角度外置指示器 阀体角度外置指示器 可选配件 开闭检测光电传感器 开闭检测光电传感器 开闭检测光电传感器 开闭检测光电传感器 适配控制器 MR-J4-A-RJ 系列 MR-J4-A-RJ 系列 MR-J4-A-RJ 系列 MR-J4-A-RJ 系列
上海岩濑国际贸易有限公司 Tel：021-63333-365 Fax：021-63333-367 Add：上海市松江区沪亭北路199弄九亭中心5号楼811室 Email：sh@iwase365.com