富士科技 FUJI Technology 产品特点:
富士科技依托富士精机集团近 50 年真空领域技术积累,主营各类真空阀门与真空零部件,产品覆盖蝶阀、闸阀、ELV、DX 系列真空阀等品类。产品依托 ISO Class7 洁净车间生产制造,严控生产工艺,适配高洁净工况;品类体系完善,支持常规供货与维修翻新、样品出借配套服务,可满足设备定制、维护全周期需求。
应用行业:
产品广泛应用于半导体制造、光学精密设备、真空镀膜等领域,同时服务化学工业、汽车制造、科研实验装置市场。合作群体包含知名设备厂商、材料企业以及日本多所高校与科研机构,适配薄膜沉积、精密检测、真空热处理等工艺场景,能够满足工业量产设备与实验室真空装置对密封性、洁净度的使用需求,为**真空系统提供可靠流体控制解决方案。
项目 MBV-1SDⅡ-M4-ARJ (20A JIS) MBV-NW25SDⅡ-M4-ARJ (NW25) MBV-ISO40SDⅡ-M4-ARJ (ISO40) MBV-CF40SDⅡ-M4-ARJ (CF40) 产品名称 伺服电机驱动真空蝶阀 伺服电机驱动真空蝶阀 伺服电机驱动真空蝶阀 伺服电机驱动真空蝶阀 法兰形式 JIS NW ISO CF 公称口径 20A NW25 ISO40 CF40 漏率 1×10⁻⁹ Pa・m³/s 以下 1×10⁻⁹ Pa・m³/s 以下 1×10⁻⁹ Pa・m³/s 以下 1×10⁻⁹ Pa・m³/s 以下 工作压力区间 10⁵ ~ 10⁻⁶ Pa 10⁵ ~ 10⁻⁶ Pa 10⁵ ~ 10⁻⁶ Pa 10⁵ ~ 10⁻⁶ Pa 阀板密封 无 可选全闭 O 型圈密封 无 无 轴密封 两段式 O 型圈密封 两段式 O 型圈密封 两段式 O 型圈密封 两段式 O 型圈密封 驱动方式 AC 伺服驱动 AC 伺服驱动 AC 伺服驱动 AC 伺服驱动 主电源 AC200V(额定电流 1.5A) AC200V(额定电流 1.5A) AC200V(额定电流 1.5A) AC200V(额定电流 1.5A) 控制电源 AC200V;DC24V(Max 500mA) AC200V;DC24V(Max 500mA) AC200V;DC24V(Max 500mA) AC200V;DC24V(Max 500mA) 阀体材质 SUS304 SUS304 SUS304 SUS304 适配控制器 FPC 系列 FPC 系列 FPC 系列 FPC 系列
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