伺服电机驱动真空蝶阀

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产品名称: 伺服电机驱动真空蝶阀
产品型号: MBV-CF40SDⅡ-M4-ARJ
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: FUJI Technology
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伺服电机驱动真空蝶阀  的详细介绍

富士科技 FUJI Technology 产品特点:

富士科技依托富士精机集团近 50 年真空领域技术积累,主营各类真空阀门与真空零部件,产品覆盖蝶阀、闸阀、ELV、DX 系列真空阀等品类。产品依托 ISO Class7 洁净车间生产制造,严控生产工艺,适配高洁净工况;品类体系完善,支持常规供货与维修翻新、样品出借配套服务,可满足设备定制、维护全周期需求。


应用行业:

产品广泛应用于半导体制造、光学精密设备、真空镀膜等领域,同时服务化学工业、汽车制造、科研实验装置市场。合作群体包含知名设备厂商、材料企业以及日本多所高校与科研机构,适配薄膜沉积、精密检测、真空热处理等工艺场景,能够满足工业量产设备与实验室真空装置对密封性、洁净度的使用需求,为**真空系统提供可靠流体控制解决方案。



项目 MBV-1SDⅡ-M4-ARJ
(20A JIS)
MBV-NW25SDⅡ-M4-ARJ
(NW25)
MBV-ISO40SDⅡ-M4-ARJ
(ISO40)
MBV-CF40SDⅡ-M4-ARJ
(CF40)
产品名称 伺服电机驱动真空蝶阀 伺服电机驱动真空蝶阀 伺服电机驱动真空蝶阀 伺服电机驱动真空蝶阀
法兰形式 JIS NW ISO CF
公称口径 20A NW25 ISO40 CF40
漏率 1×10⁻⁹ Pa・m³/s 以下 1×10⁻⁹ Pa・m³/s 以下 1×10⁻⁹ Pa・m³/s 以下 1×10⁻⁹ Pa・m³/s 以下
工作压力区间 10⁵ ~ 10⁻⁶ Pa 10⁵ ~ 10⁻⁶ Pa 10⁵ ~ 10⁻⁶ Pa 10⁵ ~ 10⁻⁶ Pa
阀板密封 可选全闭 O 型圈密封
轴密封 两段式 O 型圈密封 两段式 O 型圈密封 两段式 O 型圈密封 两段式 O 型圈密封
驱动方式 AC 伺服驱动 AC 伺服驱动 AC 伺服驱动 AC 伺服驱动
主电源 AC200V(额定电流 1.5A) AC200V(额定电流 1.5A) AC200V(额定电流 1.5A) AC200V(额定电流 1.5A)
控制电源 AC200V;DC24V(Max 500mA) AC200V;DC24V(Max 500mA) AC200V;DC24V(Max 500mA) AC200V;DC24V(Max 500mA)
阀体材质 SUS304 SUS304 SUS304 SUS304
适配控制器 FPC 系列 FPC 系列 FPC 系列 FPC 系列

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