真空发生器单元

Name: 真空发生器单元
Brand: CKD 喜开理
SKU: VSG-L10-6UP-F-NW

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产品名称: 真空发生器单元

产品型号: VSG-L10-6UP-F-NW

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: CKD 喜开理

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真空发生器单元 的详细介绍

CKD 喜开理产品简介：

CKD（喜开理）是日本百年流体与自动化龙头企业，产品分为精密控制元件与成套自动化设备两大板块，品类超 50 万种，以高精度、洁净、节能为核心优势。元件类涵盖气源处理单元、电磁阀、标准气缸、电动滑台、真空元件、高纯流体控制阀，可管控空气、纯水、化学药液、特种气体；成套设备包含医药食品包装机、锂电池卷绕设备、3D 锡膏检测机、照明制造产线，集成伺服、视觉与流体控制技术，适配高精度量产需求。

应用行业：

半导体行业用高洁净阀、真空元件满足晶圆制程严苛标准；新能源锂电池产线依靠高速卷绕设备实现电芯自动化生产；医药食品依托无菌包装设备保障生产洁净度；3C 电子、PCB 产线搭配视觉检测设备把控产品良率；汽车制造选用夹紧气缸、流体阀完成焊接、装配工序；通用自动化、机床、化工、实验室也大量采用其气动与微流量控制元件，为全球工厂自动化、省力化、节能改造提供全套控制解决方案。

属性分类	完整参数
产品型号	VSG-H（高真空・中流量）、VSG-L（中真空・大流量）、VSG-E（高真空・小流量）
本体宽度	20mm 超薄模块化单元，可多联汇流板拼接
喷嘴规格	φ0.5、φ0.7、φ1.0
流量区间	7~50L/min（纯水基准 ANR）
单元功能组合	A：仅发生器 + 过滤器；B：发生器 + 过滤器 + 真空开关；E：发生器 + 过滤器 + 发生阀 + 破坏阀；F：全功能集成（发生器 / 破坏阀 / 过滤器 / 压力开关）
配管规格	φ4/φ6 SUPER300 快插接头，真空口、供气口统一规格
电气规格	DC24V 标准线圈；真空压力传感器可选：NW 双 NPN 两点开关、NA 单开关 + 模拟输出、A 纯模拟量输出
压力检测量程	-100~0kPa，重复精度 ±3% FS，响应速度≤1kHz
流体温度	5~50℃洁净空气、惰性气体，适配半导体无油洁净气源
核心优势	全功能高度集成，省去分散阀件、过滤器、压力开关，大幅简化配管；20mm 超薄机身节省设备空间；内置真空破坏回路，高速释放工件；压力传感器数字反馈真空度，可闭环监控；模块化单元自由组合按需选配功能
应用场景	半导体全自动晶圆清洗、芯片贴装、FPC 薄膜真空搬运、多通道真空吸附集中控制模组

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