自动空气弹簧隔振台

Name: 自动空气弹簧隔振台
Brand: KOHZU 神津精机
SKU: HAX-0405

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产品名称: 自动空气弹簧隔振台

产品型号: HAX-0405

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: KOHZU 神津精机

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自动空气弹簧隔振台 的详细介绍

KOHZU神津精机

产品特点：

KOHZU神津精机为日本专业精密定位设备制造商，主营手动、电动精密位移滑台及六轴自动对准平台。产品采用自研交叉滚子无背隙导轨结构，具备亚微米级重复定位精度，结构刚性高、形变小、温漂低，长期运行稳定无间隙。搭载闭环控制技术，对位响应速度快，支持洁净室、高真空特殊工况定制，可按需调整行程、润滑方式与安装规格，机身轻薄、通用性强，便于设备集成与自动化改造。
应用行业:

产品广泛应用于精密制造与科研领域，主要涵盖半导体晶圆光刻、封装对位、真空镀膜与精密检测；光通信光纤耦合、激光微加工、光学镜头组装、显示面板贴合；同时适配车载传感标定、精密电子元器件装配，以及医疗显微设备、新材料检测、同步辐射科研实验，是高精度微定位、自动对准领域的主流日系精密品牌。

项目	参数
隔振结构	***三维空气弹簧
固有频率	垂直 1.8~2.5Hz；水平 3.2~4.0Hz
调平方式	HAX：机械式自动调平，供气 0.25~0.5MPa；HMX：手动调平
台面芯体	高刚性钢制蜂窝结构
台面材质	上下双面磁化不锈钢；25mm 间距 25XY-M6 安装螺纹
*大承载	80kg（405/506）、120kg（806/1007）
环保认证	RoHS
标准配件	HAX：Φ6mm×5m 气管、PT1/4 外螺纹接头；HMX：手动泵、固定螺丝
可选配件	集中排气口、BA 不锈钢侧贴、防护屏蔽罩；无尘型号末尾加 C

型号	外形尺寸 (宽 × 深 × 厚)	自重 (kg)
HAX-0405	440×540×94	33
HMX-0405	440×540×94	33
HMX-0506	500×620×94	39
HAX-0605	600×500×94	39
HMX-0605	600×520×94	39
HAX-0806	800×600×94	53
HMX-0806	800×620×94	53
HAX-1007	1000×700×94	79
HMX-1007	1000×720×94	79

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