真空兼容旋转台

Name: 真空兼容旋转台
Brand: KOHZU 神津精机
SKU: MVSA10A-RT01

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产品名称: 真空兼容旋转台

产品型号: MVSA10A-RT01

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: KOHZU 神津精机

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真空兼容旋转台 的详细介绍

KOHZU神津精机

产品特点：

KOHZU神津精机为日本专业精密定位设备制造商，主营手动、电动精密位移滑台及六轴自动对准平台。产品采用自研交叉滚子无背隙导轨结构，具备亚微米级重复定位精度，结构刚性高、形变小、温漂低，长期运行稳定无间隙。搭载闭环控制技术，对位响应速度快，支持洁净室、高真空特殊工况定制，可按需调整行程、润滑方式与安装规格，机身轻薄、通用性强，便于设备集成与自动化改造。
应用行业:

产品广泛应用于精密制造与科研领域，主要涵盖半导体晶圆光刻、封装对位、真空镀膜与精密检测；光通信光纤耦合、激光微加工、光学镜头组装、显示面板贴合；同时适配车载传感标定、精密电子元器件装配，以及医疗显微设备、新材料检测、同步辐射科研实验，是高精度微定位、自动对准领域的主流日系精密品牌。

分类	详细参数
产品系列	MVRA 真空兼容旋转台
支撑结构	精密轴承支撑
传动机构	小型型号减速比 1/90；大型 MVRA10A-W01 减速比 1/180
整步 / 半步分辨率	0.008°/0.004°（小型号）；0.004°/0.002°（MVRA10A）
1/20 细分微步分辨率	0.0004°（小型号）；0.0002°（MVRA10A）
*高旋转速度	20°/sec（Φ49/Φ68）；10°/sec（Φ98）
角度再现性	全系列≤0.01°
空程误差	≤0.005°~0.006°
表面跳动	≤20μm/360°；偏心≤10μm/360°
主体材质	铝合金
驱动电机	真空专用 5 相步进电机，1.4A / 相，步距角 0.72°
真空连接器	Accu-Glass 9 针真空密封 D-sub 9D-HVCP
润滑	出厂真空低出气润滑脂，可直接用于高真空腔体
配套资料	2D DXF、3D STEP、3D PARASOLID 图纸

型号	台面尺寸	旋转范围	水平承载	自重	减速比
MVRA05A-W02	Φ49mm	±140°	39.2N(4kgf)	0.8kg	1/90
MVRA07A-W02	Φ68mm	±135°	58.8N(6kgf)	1.25kg	1/90
MVRA10A-W01	Φ98mm	±140°	98N(10kgf)	2.4kg	1/180
MVRA16A-WH01	Φ158mm	±170°	588N(60kgf)	重载大型	1/90

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